【導讀】MEMS超聲波換能器芯片PMUT區別於傳統的壓電陶瓷超聲波傳感器，其體積僅為其1/4
，功耗也大幅降低，並且MEMS超聲波傳感器不同於光學TOF傳感器，其能夠在強光霧霾天氣中使用
，對於明暗
，透明物體皆可實現測量。在掃地機器人、工業機器人、駕駛輔助、無人機、玩具避障
、閘機門控等眾多場景中具有廣泛的應用前景。

壓電微機械超聲換能器（Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducer
，PMUT）是一類通過壓電材料的正逆壓電效應使壓電薄膜振動，從而發射或者接收超聲波信號的MEMS器件。當PMUT用於發射超聲波時
，它是一個執行器；當PMUT用於接收超聲波時，它是一個傳感器。

在商業化產品中
，完全相同的PMUT器件可以承擔兩個相對立的功能，這使得PMUT器件從設計到生產、封裝、測試
、係統化的成本得到極大的降低。而MEMS標準工藝批量化生產和晶圓級封裝的大規模應用，使得PMUT非常適合商業化應用。

MEMS超聲波換能器芯片PMUT區別於傳統的壓電陶瓷超聲波傳感器，其體積僅為其1/4
，功耗也大幅降低，並且MEMS超聲波傳感器不同於光學TOF傳感器，其能夠在強光霧霾天氣中使用，對於明暗，透明物體皆可實現測量。在掃地機器人、工業機器人、駕駛輔助、無人機、玩具避障、閘機門控等眾多場景中具有廣泛的應用前景。

敏芯股份作為國內屈指可數掌握多品類MEMS芯片設計和製造工藝能力企業，可提供高端定製化的基於PMUT的TOF模組。通過基於SOI晶圓的半導體加工工藝製造

，實現底電極/壓電層/dingdianjidesanmingzhijiegouyongzuoqudonghejieshougoujian，fasongshengyahoudemaichongchuanlaiqudongciqijianzaixiezhenpinlvgongzuo，tongguojishifachumaichonghehuishoumaichongdeshijiancha
，laijisuanyuzhangaiwudejuli。

同時
，敏芯股份提供了基於PMUT的TOF測距模組的驅動和控製電路，可減少開發者的開發難度，加快開發進程。

常見應用

車載係統：

cejulishichaoshengqijiandezhongyaoyingyong，gaopinchaoshengbokangganraonengliqiang
，chuanbojuliyuan

，feichangshihecejuyingyong。xianyoudeanzhuangyuqicheshangdedaocheleida，yibanjiushiqianhougesike
，danshizhesikedaocheleidapubianyoutijida、成本高的缺點。而PMUT的封裝後尺寸都不會超過10mm，設想一種場景
，如果使用PMUTzhenlielaizuojulijiance

，xiaochicungaomidudepaibu，bujinkeyizuodaozaibuchaoguoxianyoudaocheleidachengbendetiaojianxiaquanchewumangqujiance，shenzhikeyiwanzhengjianlihuanraoquanchedechaoshengchengxiangyifuzhuzhinengjiashixitong。

掃地機器人：

避bi障zhang檢jian測ce就jiu是shi以yi超chao聲sheng傳chuan感gan器qi和he紅hong外wai光guang電dian傳chuan感gan器qi相xiang結jie合he來lai完wan成cheng的de。因yin成cheng本ben問wen題ti，主zhu流liu掃sao地di機ji器qi人ren的de超chao聲sheng雷lei達da數shu量liang都dou在zai個ge位wei數shu。因yin此ci，掃sao地di機ji器qi人ren的de避bi障zhang檢jian測ce和he尋xun跡ji問wen題ti依yi然ran突tu出chu，被bei卡ka住zhu
、錯誤判斷等都是超聲雷達檢測精度不夠高造成的。

PMUT在掃地機器人上的商業化應用是一個非常有價值的切入點，其低成本和小體積、高精度的優點可以滿足掃地機器人這類需要進一步提高檢測分辨率的應用場景。

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