傳感器知識大講堂之壓電式傳感器
發布時間:2017-03-22 責任編輯:wenwei
【導讀】壓電式傳感器可以對各種動態力、機械衝擊和振動進行測量,在聲學、醫學、力學、導航方麵都得到廣泛的應用。它具有體積小、質量輕、頻響高、信(xin)噪(zao)比(bi)大(da)等(deng)特(te)點(dian)。壓(ya)電(dian)式(shi)傳(chuan)感(gan)器(qi)的(de)工(gong)作(zuo)原(yuan)理(li)是(shi)基(ji)於(yu)某(mou)些(xie)介(jie)質(zhi)材(cai)料(liao)的(de)壓(ya)電(dian)效(xiao)應(ying),是(shi)典(dian)型(xing)的(de)有(you)源(yuan)傳(chuan)感(gan)器(qi)。當(dang)材(cai)料(liao)受(shou)力(li)作(zuo)用(yong)而(er)變(bian)形(xing)時(shi),其(qi)表(biao)麵(mian)會(hui)有(you)電(dian)荷(he)產(chan)生(sheng),從(cong)而(er)實(shi)現(xian)非(fei)電(dian)量(liang)測(ce)量(liang)。
壓電效應
某mou些xie電dian介jie質zhi,當dang沿yan著zhe一yi定ding方fang向xiang對dui其qi施shi力li而er使shi它ta變bian形xing時shi,其qi內nei部bu就jiu產chan生sheng極ji化hua現xian象xiang,同tong時shi在zai它ta的de兩liang個ge表biao麵mian上shang便bian產chan生sheng符fu號hao相xiang反fan的de電dian荷he,當dang外wai力li去qu掉diao後hou,其qi又you重zhong新xin恢hui複fu到dao不bu帶dai電dian狀zhuang態tai,這zhe種zhong現xian象xiang稱cheng壓ya電dian效xiao應ying。相xiang反fan,當dang在zai電dian介jie質zhi極ji化hua方fang向xiang施shi加jia電dian場chang,這zhe些xie電dian介jie質zhi也ye會hui產chan生sheng變bian形xing,這zhe種zhong現xian象xiang稱cheng為wei“逆壓電效應”(電致伸縮效應)。
壓電材料
石英晶體、鈦酸鋇、鋯鈦酸鉛等材料是性能優良的壓電材料。應用於壓電式傳感器中的壓電元件材料一般有三類:壓電晶體、經過極化處理的壓電陶瓷、新型壓電材料。
他們都具有較大的壓電常數,機械性能良好,時間穩定性好,溫度穩定性好等特性,所以是較理想的壓電材料。
1、壓電晶體
天然形成的石英晶體外形
石英晶體切片及封裝
石英晶體在振蕩電路中工作時,壓電效應與逆壓電效應交替作用,從而產生穩定的振蕩輸出頻率。

石英晶體振蕩器(晶振)
石英晶體是一種應用廣泛的壓電晶體。它是二氧化矽單晶體,屬於六角晶係。它為規則的六角棱柱體。石英晶體有3個晶軸:x軸、y軸和z軸。vz軸又稱光軸,它與晶體的縱軸線方向一致:x軸又稱電軸,它通過六麵體相對的兩個棱線並垂直於光軸:y軸又稱為機械軸,它垂直於兩個相對的晶柱棱麵。

石英晶體的壓電效應與其內部結構有關,產生極化現象的機理可說明。石英晶體的化學式為SiO2,它的每個晶胞中有3個矽離子和6個氧離子,一個矽離子和兩個氧離子交替排列(氧離子是成隊出現的)。沿光軸看去,可以等效地認為正六邊形排列結構。

圖中1—正電荷等效中心 2—負電荷等效中心
(1)在無外力作用時
(2)當晶體沿電軸(x軸)方向受到壓力時,晶格產生變形
(3)同樣,當晶體的機械軸(y軸)方向受到壓力時,也會產生晶格變形
(4)當晶體的光軸(z軸)方向受到受力時,由於晶格的變形不會引起正負電荷中心的分離,所以不會產生壓電效應。
沿yan機ji械xie軸zhou方fang向xiang的de力li作zuo用yong在zai晶jing體ti上shang時shi,產chan生sheng的de電dian荷he與yu晶jing體ti切qie麵mian的de幾ji何he尺chi寸cun有you關guan,式shi中zhong的de負fu號hao說shuo明ming沿yan機ji械xie軸zhou的de壓ya力li引yin起qi的de電dian荷he極ji性xing與yu沿yan電dian軸zhou的de壓ya力li引yin起qi的de電dian荷he極ji性xing恰qia好hao相xiang反fan。
2、壓電陶瓷

yadiantaocishirengongzhizaodeduojingtiyadiancailiao。cailiaoneibudejingliyouxuduozifajihuadedianchou,tayouyidingdejihuafangxiang,congercunzaidianchang。zaiwuwaidianchangzuoyongshi,dianchouzaijingtizhongzaluanfenbu,tamengezidejihuaxiaoyingbeixianghudixiao,yadiantaocineijihuaqiangduweiling。yinciyuanshideyadiantaocichengzhongxing,bujuyouyadianxingzhi。
在(zai)陶(tao)瓷(ci)上(shang)施(shi)加(jia)外(wai)電(dian)場(chang)時(shi),電(dian)疇(chou)的(de)極(ji)化(hua)方(fang)向(xiang)發(fa)生(sheng)轉(zhuan)動(dong),趨(qu)向(xiang)於(yu)按(an)外(wai)電(dian)場(chang)方(fang)向(xiang)的(de)排(pai)列(lie),從(cong)而(er)使(shi)材(cai)料(liao)得(de)到(dao)極(ji)化(hua)。外(wai)電(dian)場(chang)愈(yu)強(qiang),就(jiu)有(you)更(geng)多(duo)的(de)電(dian)疇(chou)更(geng)完(wan)全(quan)地(di)轉(zhuan)向(xiang)外(wai)電(dian)場(chang)方(fang)向(xiang)。讓(rang)外(wai)電(dian)場(chang)強(qiang)度(du)大(da)到(dao)使(shi)材(cai)料(liao)的(de)極(ji)化(hua)達(da)到(dao)飽(bao)和(he)的(de)程(cheng)度(du),即(ji)所(suo)有(you)電(dian)疇(chou)極(ji)化(hua)方(fang)向(xiang)都(dou)整(zheng)齊(qi)地(di)與(yu)外(wai)電(dian)場(chang)方(fang)向(xiang)一(yi)致(zhi)時(shi),當(dang)外(wai)電(dian)場(chang)去(qu)掉(diao)後(hou),電(dian)疇(chou)的(de)極(ji)化(hua)方(fang)向(xiang)基(ji)本(ben)沒(mei)變(bian)化(hua),即(ji)剩(sheng)餘(yu)極(ji)化(hua)強(qiang)度(du)很(hen)大(da),這(zhe)時(shi)的(de)材(cai)料(liao)才(cai)具(ju)有(you)壓(ya)電(dian)特(te)性(xing)。

壓電陶瓷的極化 (a) 未極化; (b) 電極化
壓ya電dian陶tao瓷ci的de壓ya電dian係xi數shu比bi石shi英ying晶jing體ti的de大da得de多duo,所suo以yi采cai用yong壓ya電dian陶tao瓷ci製zhi作zuo的de壓ya電dian式shi傳chuan感gan器qi的de靈ling敏min度du較jiao高gao。極ji化hua處chu理li後hou的de壓ya電dian陶tao瓷ci材cai料liao的de剩sheng餘yu極ji化hua強qiang度du和he特te性xing與yu溫wen度du有you關guan,它ta的de參can數shu也ye隨sui時shi間jian變bian化hua,從cong而er使shi其qi壓ya電dian特te性xing減jian弱ruo。
3、新型壓電材料

壓電薄膜
(1) 壓電半導體材料
壓電半導體材料有ZnO、CdS(硫化鎘) 、CdTe(碲化鎘 )等,這種力敏器件具有靈敏度高,響應時間短等優點。此外用ZnO作為表麵聲波振蕩器的壓電材料,可檢測力和溫度等參數。
(2) 高分子壓電材料
mouxiehechenggaofenzijuhewubomojingyanzhanlashenhedianchangjihuahou,juyouyidingdeyadianxingneng,zheleibomochengweigaofenziyadianbomo。muqianchuxiandeyadianbomoyoujuerfuyixiPVF2、聚氟乙烯PVF、聚氯乙烯PVC、聚γ甲基-L穀氨酸脂PMG等。高分子壓電材料是一種柔軟的壓電材料,不易破碎,可以大量生產和製成較大的麵積。
4、壓電材料的主要特性參數
1)壓電常數:壓電常數是衡量材料壓電效應強弱的參數,它直接關係到壓電輸出的靈敏度。
2)彈性常數:壓電材料的彈性常數、 剛度決定著壓電器件的固有頻率和動態特性。
3)介電常數:對於一定形狀、尺寸的壓電元件,其固有電容與介電常數有關;而固有電容又影響著壓電傳感器的頻率下限。
4) 機械耦合係數:在壓電效應中,其值等於轉換輸出能量(如電能)與輸入的能量(如機械能)之比的平方根;它是衡量壓電材料機電能量轉換效率的一個重要參數。
5)電阻壓電材料的絕緣電阻:將減少電荷泄漏,從而改善壓電傳感器的低頻特性。
6)居裏點:壓電材料開始喪失壓電特性的溫度稱為居裏點。
壓電式傳感器的測量電路
1、壓電式傳感器的等效電路
將(jiang)壓(ya)電(dian)晶(jing)片(pian)產(chan)生(sheng)電(dian)荷(he)的(de)兩(liang)個(ge)晶(jing)麵(mian)封(feng)裝(zhuang)上(shang)金(jin)屬(shu)電(dian)極(ji)後(hou),就(jiu)構(gou)成(cheng)了(le)壓(ya)電(dian)元(yuan)件(jian)。當(dang)壓(ya)電(dian)元(yuan)件(jian)受(shou)力(li)時(shi),就(jiu)會(hui)在(zai)兩(liang)個(ge)電(dian)極(ji)上(shang)產(chan)生(sheng)電(dian)荷(he),因(yin)此(ci),壓(ya)電(dian)元(yuan)件(jian)相(xiang)當(dang)於(yu)一(yi)個(ge)電(dian)荷(he)源(yuan);兩個電極之間是絕緣的壓電介質,因此它又相當於一個以壓電材料為介質的電容器,其電容值為 Ca = εRε0A/δ
v壓電元件等效為一個與電容相並聯的電荷源,也可以等效為一個與電容相串聯的電壓源。

壓ya電dian式shi傳chuan感gan器qi不bu能neng用yong於yu靜jing態tai測ce量liang。壓ya電dian元yuan件jian隻zhi有you在zai交jiao變bian力li的de作zuo用yong下xia,電dian荷he才cai能neng源yuan源yuan不bu斷duan地di產chan生sheng,可ke以yi供gong給gei測ce量liang回hui路lu以yi一yi定ding的de電dian流liu,故gu隻zhi適shi用yong於yu動dong態tai測ce量liang。

2、壓電式傳感器測量電路
壓電式傳感器的內阻很高,要求與高輸入阻抗的前置放大電路配合,與一般的放大、檢波、顯示、記錄電路連接,防止電荷的迅速泄漏而使測量誤差減少。
壓電式傳感器的前置放大器的作用有兩個:一是把傳感器的高阻抗輸出變為低阻抗輸出;二是把傳感器的微弱信號進行放大。
根gen據ju壓ya電dian式shi傳chuan感gan器qi的de工gong作zuo原yuan理li及ji等deng效xiao電dian路lu,它ta的de輸shu出chu可ke以yi是shi電dian荷he信xin號hao,也ye可ke以yi是shi電dian壓ya信xin號hao,因yin此ci與yu之zhi配pei套tao的de前qian置zhi放fang大da器qi也ye有you電dian荷he放fang大da器qi和he電dian壓ya放fang大da器qi兩liang種zhong形xing式shi。
由於電壓前置放大器的輸出電壓與電纜電容有關,故目前多采用電荷放大器。
(1)電荷放大器
v並聯輸出型壓電元件可以等效為電荷源。電荷放大器實際上是一個具有反饋電容Cf的高增益運算放大器電路.

電荷放大器原理圖
電荷放大器的輸出電壓僅與輸入電荷和反饋電容有關,電纜電容等其他因素的影響可以忽略不計。
(2)電壓放大器(阻抗變換器)
串(chuan)聯(lian)輸(shu)出(chu)型(xing)壓(ya)電(dian)元(yuan)件(jian)可(ke)以(yi)等(deng)效(xiao)為(wei)電(dian)壓(ya)源(yuan),但(dan)由(you)於(yu)壓(ya)電(dian)效(xiao)應(ying)引(yin)起(qi)的(de)電(dian)容(rong)量(liang)很(hen)小(xiao),因(yin)而(er)其(qi)電(dian)壓(ya)源(yuan)等(deng)效(xiao)內(nei)阻(zu)很(hen)大(da),在(zai)接(jie)成(cheng)電(dian)壓(ya)輸(shu)出(chu)型(xing)測(ce)量(liang)電(dian)路(lu)時(shi),要(yao)求(qiu)前(qian)置(zhi)放(fang)大(da)器(qi)不(bu)僅(jin)有(you)足(zu)夠(gou)的(de)放(fang)大(da)倍(bei)數(shu),而(er)且(qie)應(ying)具(ju)有(you)很(hen)高(gao)的(de)輸(shu)入(ru)阻(zu)抗(kang)。

壓電式傳感器的應用
1、玻璃打碎報警裝置
將高分子壓電測振薄膜粘貼在玻璃上,可以感受到玻璃破碎時會發出的振動,並將電壓信號傳送給集中報警係統。

將厚約0.2mm左右的PVDF薄膜裁製成10´20mm大小。在它的正反兩麵各噴塗透明的二氧化錫導電電極,再用超聲波焊接上兩根柔軟的電極引線。並用保護膜覆蓋。
使用時,用瞬幹膠將其粘貼在玻璃上。當玻璃遭暴力打碎的瞬間,壓電薄膜感受到劇烈振動,表麵產生電荷Q,在兩個輸出引腳之間產生窄脈衝報警信號。
壓ya電dian傳chuan感gan器qi隻zhi能neng應ying用yong於yu動dong態tai測ce量liang。由you於yu外wai力li作zuo用yong在zai壓ya電dian元yuan件jian上shang產chan生sheng的de電dian荷he隻zhi有you在zai無wu泄xie漏lou的de情qing況kuang下xia才cai能neng保bao存cun,即ji需xu要yao測ce量liang回hui路lu具ju有you無wu限xian大da的de輸shu入ru阻zu抗kang,這zhe實shi際ji上shang是shi不bu可ke能neng的de,因yin此ci壓ya電dian式shi傳chuan感gan器qi不bu能neng用yong於yu靜jing態tai測ce量liang。壓ya電dian元yuan件jian在zai交jiao變bian力li的de作zuo用yong下xia,電dian荷he可ke以yi不bu斷duan補bu充chong,可ke以yi供gong給gei測ce量liang回hui路lu以yi一yi定ding的de電dian流liu,故gu隻zhi適shi用yong於yu動dong態tai測ce量liang(一般必須高於100Hz,但在50kHz以上時,靈敏度下降)。
2.壓電式周界報警係統
將長的壓電電纜埋在泥土的淺表層,可起分布式地下麥克風或聽音器的作用,可在幾十米範圍內探測人的步行, 對輪式或履帶式車輛也可以通過信號處理係統分辨出來。下圖為測量係統的輸出波形。

3.交通監測
將高分子壓電電纜埋在公路上,可以獲取車型分類信息(包括軸數、軸距、輪距、單雙輪胎)、車速監測、收費站地磅、闖紅燈拍照、停車區域監控、交通數據信息采集(道路監控)及機場滑行道等。

4、壓電式動態力傳感器
車床中用於動態切削力的測量

5、壓電式振動加速度傳感器
加速度傳感器可以用於判斷汽車的碰撞,從而使安全氣囊迅速充氣,從而挽救生命;還可安裝在氣缸的側壁上,盡量使點火時刻接近爆震區而不發生爆震,但又能使發動機輸出盡可能大的扭矩。

汽(qi)車(che)發(fa)動(dong)機(ji)中(zhong)的(de)氣(qi)缸(gang)點(dian)火(huo)時(shi)刻(ke)必(bi)須(xu)十(shi)分(fen)精(jing)確(que)。如(ru)果(guo)恰(qia)當(dang)地(di)將(jiang)點(dian)火(huo)時(shi)間(jian)提(ti)前(qian)一(yi)些(xie),即(ji)有(you)一(yi)個(ge)提(ti)前(qian)角(jiao),就(jiu)可(ke)使(shi)汽(qi)缸(gang)中(zhong)汽(qi)油(you)與(yu)空(kong)氣(qi)的(de)混(hun)合(he)氣(qi)體(ti)得(de)到(dao)充(chong)分(fen)燃(ran)燒(shao),使(shi)扭(niu)矩(ju)增(zeng)大(da),排(pai)汙(wu)減(jian)少(shao)。但(dan)提(ti)前(qian)角(jiao)太(tai)大(da)時(shi),混(hun)合(he)氣(qi)體(ti)產(chan)生(sheng)自(zi)燃(ran),就(jiu)會(hui)產(chan)生(sheng)衝(chong)擊(ji)波(bo),發(fa)出(chu)尖(jian)銳(rui)的(de)金(jin)屬(shu)敲(qiao)擊(ji)聲(sheng),稱(cheng)為(wei)爆(bao)震(zhen),可(ke)能(neng)使(shi)火(huo)花(hua)塞(sai)、活塞環熔化損壞,使缸蓋、連杆、曲軸等部件過載、變形,可用壓電傳感器檢測並控製之。
向微型化智能化方向發展
現xian在zai的de大da型xing精jing密mi係xi統tong對dui質zhi量liang和he體ti積ji大da小xiao都dou非fei常chang的de關guan注zhu,傳chuan統tong的de大da塊kuai頭tou的de壓ya電dian傳chuan感gan器qi將jiang逐zhu步bu的de失shi去qu其qi市shi場chang。隨sui著zhe新xin材cai料liao及ji新xin加jia工gong技ji術shu的de開kai發fa,利li用yong激ji光guang等deng各ge種zhong微wei細xi加jia工gong技ji術shu製zhi成cheng的de矽gui加jia速su度du傳chuan感gan器qi由you於yu具ju有you體ti積ji非fei常chang的de小xiao、互換性及可靠性都很好的吸引力,正在逐步取代傳統的壓電傳感器。
壓ya電dian傳chuan感gan器qi的de功gong能neng已yi經jing突tu破po傳chuan統tong的de功gong能neng,其qi輸shu出chu不bu再zai是shi一yi個ge單dan一yi的de模mo擬ni信xin號hao,而er是shi經jing過guo微wei電dian腦nao處chu理li後hou的de數shu字zi信xin號hao,有you的de壓ya電dian傳chuan感gan如ru集ji成cheng後hou的de壓ya電dian傳chuan感gan器qi其qi本ben身shen帶dai有you控kong製zhi功gong能neng,這zhe就jiu是shi所suo說shuo的de數shu字zi傳chuan感gan器qi。
現代半導體技術日趨先進和成熟的情況下,未來的壓電加速度傳感器會與後續處理電路集成在一塊,體積更小,性能卻更優。
本文來源於傳感器技術。
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