如何使用MEMS慣性傳感器提高運動控製係統性能
發布時間:2013-03-12 責任編輯:shyhuang
【導讀】最近的傳感器技術發展使得機器人和其他工業係統設計實現了革命性的進步。本文描述慣性傳感器有可能改善其係統性能或功能的應用還包括:平台穩定、工業機械運動控製、安全/監控設備和工業車輛導航等。
分析問題
來自慣性傳感器的信息經過處理和積分後,可以提供許多不同類型的運動、位置和方向輸出(見圖1)。meizhongleixingdeyundongdoushejidaoyixilieyingyongxiangguandefuzayinsu,duicibixujiayilejie。gongyekongzhiyingyongjiushiyigehenhaodelizi,mouzhongxingshidezhixianghuozhuanxiangshebeiduizhexieyingyongshifenyouyong。qingxiehuojiaodujiancechangchangshicileiyingyongdehexinrenwu,zaizuijiandandefanlizhong,jixieqipaochuanganqibiankemanzuxuyao。raner,zaimingquechuanganqixuqiuzhiqian,xuyaofenxizuizhongxitongdewanzhengyundongdonglixuetexing、環境、壽命周期和可靠性預期。
圖1:當今的慣性傳感器能夠檢測多種運動類型
如果係統的運動相對而言為靜態,簡單的角度傳感器可能就足夠了,但實際的技術決策取決於響應時間、衝擊和震動、尺寸、整個使用壽命期間的性能漂移。此外,許多係統涉及到多種類型的運動(如旋轉和加速度等),而(er)且(qie)往(wang)往(wang)在(zai)多(duo)個(ge)軸(zhou)上(shang)工(gong)作(zuo),這(zhe)就(jiu)需(xu)要(yao)考(kao)慮(lv)將(jiang)多(duo)種(zhong)類(lei)型(xing)的(de)傳(chuan)感(gan)器(qi)結(jie)合(he)在(zai)一(yi)起(qi)。一(yi)旦(dan)知(zhi)道(dao)正(zheng)確(que)的(de)傳(chuan)感(gan)器(qi)類(lei)型(xing)和(he)技(ji)術(shu)後(hou),挑(tiao)戰(zhan)便(bian)轉(zhuan)移(yi)到(dao)了(le)解(jie)和(he)最(zui)終(zhong)補(bu)償(chang)傳(chuan)感(gan)器(qi)對(dui)環(huan)境(jing)(溫度、震動、衝擊、安裝位置、時間和其他變量)的反應。環境補償涉及到額外的電路、測試、xiaozhunhedongtaitiaozheng,ermeizhongleixingdechuanganqi,shenzhimeigechuanganqidoushiduyiwuerde,yincizheyouhuidailaibuchangbuzuhuoguodudeewaifengxian,chufeigongchengshifeichanglejiechuanganqitexing。zuihouzheyidianqushixuduoshejigongchengshicaiyongwanquanjichengdechuanganqijiejuefangan,yibianxiaochuyunyongheshishiguochengzhongdezhangai。
線性速率抑或角速率
慣性傳感器有多種類型。MEMS(微機電係統)傳感器是最完善的傳感器類型之一,已經使眾多應用受益。15年前,MEMS線性加速度傳感器(加速度計)徹(che)底(di)革(ge)新(xin)了(le)汽(qi)車(che)安(an)全(quan)氣(qi)囊(nang)係(xi)統(tong)。自(zi)此(ci)以(yi)後(hou),從(cong)筆(bi)記(ji)本(ben)電(dian)腦(nao)硬(ying)盤(pan)保(bao)護(hu)到(dao)遊(you)戲(xi)控(kong)製(zhi)器(qi)中(zhong)更(geng)為(wei)直(zhi)觀(guan)的(de)用(yong)戶(hu)運(yun)動(dong)捕(bu)捉(zhuo),各(ge)種(zhong)獨(du)特(te)的(de)功(gong)能(neng)和(he)應(ying)用(yong)得(de)以(yi)實(shi)現(xian)。根(gen)據(ju)諧(xie)振(zhen)器(qi)陀(tuo)螺(luo)儀(yi)的(de)原(yuan)理(li),MEMS結構也可提供角速率檢測。兩個多晶矽檢測結構各含一個“擾動框架”,通過靜電將擾動框架驅動到諧振狀態,以產生必要的運動,從而在旋轉期間產生科氏力。在各框架的兩個外部極限處(與擾動運動正交)是可動指,放在固定指之間,形成一個容性撿拾結構來檢測科氏運動。當MEMStuoluoyixuanzhuanshi,kedongzhideweizhibianhuatongguodianrongbianhuajinxingjiance,youcidedaodexinhaosongruyixiliezengyihejietiaoji,chanshengdiansulvxinhaoshuchu。mouxieqingkuangxia,gaixinhaohaihuijingzhuanhuan,songruyigezhuanyoushuzixiaozhundianlu。
傳感器內核周圍的集成度和校準由最終性能要求決定,但在許多情況下,可能需要進行運動校準,以便實現最高的性能水平和穩定性。
調理和處理
在工業市場上,諸如震動分析、平台校正、一(yi)般(ban)運(yun)動(dong)控(kong)製(zhi)之(zhi)類(lei)的(de)應(ying)用(yong)都(dou)需(xu)要(yao)高(gao)集(ji)成(cheng)度(du)和(he)高(gao)可(ke)靠(kao)度(du)的(de)解(jie)決(jue)方(fang)案(an),而(er)且(qie)在(zai)許(xu)多(duo)情(qing)況(kuang)下(xia)檢(jian)測(ce)元(yuan)件(jian)是(shi)直(zhi)接(jie)嵌(qian)入(ru)到(dao)現(xian)有(you)設(she)備(bei)中(zhong)。此(ci)外(wai),還(hai)必(bi)須(xu)提(ti)供(gong)足(zu)夠(gou)的(de)控(kong)製(zhi)、校準和編程功能,使器件真正獨立自足。一些應用範例包括:
機器自動化:通tong過guo提ti高gao位wei置zhi檢jian測ce精jing度du,並bing且qie更geng加jia嚴yan格ge地di將jiang此ci信xin息xi與yu遠yuan程cheng控kong製zhi或huo編bian程cheng設she置zhi的de運yun動dong相xiang關guan聯lian,可ke以yi使shi自zi治zhi或huo遠yuan程cheng控kong製zhi的de精jing密mi儀yi器qi和he機ji械xie臂bi更geng加jia精jing確que、有效。
工業機械的狀態監控:通過將傳感器更深地嵌入機械內部,並且借由傳感器性能和嵌入式處理而更早、更準確地掌握狀態變化的跡象,可以獲得更實用的價值。
移動通信和監控:無論是陸地、航空還是海上交通工具,慣性傳感器都有助於其實現穩定(天線和相機)和定向導航(利用GPS和其他傳感器進行航位推算)。
工業檢測市場異常紛繁多樣,必須通過集成嵌入式可調特性,如數字濾波、采樣速率控製、狀態監控、電源管理選項和專用輔助I/O功能等,來支持各種不同的性能、集ji成cheng度du和he接jie口kou要yao求qiu。在zai其qi他ta更geng複fu雜za的de情qing況kuang下xia,還hai需xu要yao采cai用yong多duo個ge傳chuan感gan器qi和he多duo種zhong類lei型xing的de傳chuan感gan器qi。即ji使shi看kan起qi來lai很hen簡jian單dan的de慣guan性xing運yun動dong,例li如ru僅jin限xian於yu一yi個ge或huo兩liang個ge軸zhou的de運yun動dong,也ye可ke能neng需xu要yao同tong時shi采cai用yong加jia速su度du計ji和he陀tuo螺luo儀yi檢jian測ce來lai補bu償chang重zhong力li、震動及其他不符常規的行為和影響。
傳(chuan)感(gan)器(qi)還(hai)可(ke)能(neng)具(ju)有(you)交(jiao)叉(cha)靈(ling)敏(min)度(du),很(hen)多(duo)時(shi)候(hou)需(xu)要(yao)對(dui)此(ci)進(jin)行(xing)補(bu)償(chang),即(ji)使(shi)無(wu)須(xu)補(bu)償(chang),至(zhi)少(shao)也(ye)需(xu)要(yao)加(jia)以(yi)了(le)解(jie)。此(ci)外(wai),慣(guan)性(xing)傳(chuan)感(gan)器(qi)的(de)性(xing)能(neng)指(zhi)標(biao)存(cun)在(zai)許(xu)多(duo)不(bu)同(tong)的(de)標(biao)準(zhun),這(zhe)使(shi)得(de)上(shang)述(shu)問(wen)題(ti)的(de)解(jie)決(jue)更(geng)加(jia)困(kun)難(nan)。當(dang)指(zhi)定(ding)角(jiao)速(su)率(lv)傳(chuan)感(gan)器(qi)要(yao)求(qiu)時(shi),多(duo)數(shu)工(gong)業(ye)係(xi)統(tong)設(she)計(ji)工(gong)程(cheng)師(shi)主(zhu)要(yao)關(guan)心(xin)的(de)是(shi)陀(tuo)螺(luo)儀(yi)穩(wen)定(ding)性(xing)(隨時間發生的偏置估算),消費級陀螺儀通常不會規定這一特性。如果傳感器的線性加速度性能較差,那麼即使0.003°/s的良好陀螺儀偏置穩定性也可能毫無意義。例如,假設線性加速度特性為0.1°/s/G,在旋轉±90° (1 G)的簡單情況下,這將給0.003°/s的偏置穩定性增加0.1°的誤差。加速度計通常與陀螺儀一起使用,以便檢測重力影響,並且提供必要的信息來驅動補償過程。
為wei了le優you化hua傳chuan感gan器qi性xing能neng並bing盡jin可ke能neng縮suo短duan開kai發fa時shi間jian,需xu要yao深shen入ru了le解jie傳chuan感gan器qi靈ling敏min度du和he應ying用yong環huan境jing。校xiao準zhun計ji劃hua可ke以yi針zhen對dui影ying響xiang最zui大da的de因yin素su進jin行xing定ding製zhi,從cong而er減jian少shao測ce試shi時shi間jian和he補bu償chang算suan法fa開kai銷xiao。麵mian向xiang具ju體ti應ying用yong的de解jie決jue方fang案an將jiang適shi當dang的de傳chuan感gan器qi與yu必bi要yao的de信xin號hao處chu理li結jie合he在zai一yi起qi,如ru果guo具ju備bei高gao性xing價jia比bi並bing且qie提ti供gong現xian成cheng可ke用yong的de標biao準zhun係xi統tong接jie口kou,這zhe些xie解jie決jue方fang案an將jiang能neng消xiao除chu許xu多duo工gong業ye客ke戶hu過guo去qu所suo麵mian臨lin的de實shi施shi和he生sheng產chan障zhang礙ai。
加速度、震動分析
在一些應用案例中,相對簡單的傳感器輸出可能就足夠了,但在另一些應用中(例如,通過震動分析進行狀態監控),則需要增加相當多的處理過程才能實現所需的輸出。圍繞慣性傳感器而構建的一個高集成度器件示例是ADIS16227(見圖2),它是一款完全自治的頻域震動監控器。此類器件可能不提供相對簡單的g/mV輸出,而是提供特定應用分析。在本例中,其嵌入式頻域處理、512點實值FFT和片上存儲器能夠識別各震動源並進行歸類,監控其隨時間的變化情況,並根據可編程的閾值做出反應。

圖2 :控製說明圖
nenggoujiancehelejieyundongkenengduijihusuoyoushexiangdaodelingyudoujuyouyingyongjiazhi。daduoshuqingkuangxia,renmenxiwangzhangkongyigexitongfashengdeyundong,bingliyonggaixinxitigaoxingneng(響應時間、精度、工作速度等),增強安全性或可靠性(係統在危險情況下關機),或huo者zhe獲huo得de其qi他ta增zeng值zhi特te性xing。但dan在zai某mou些xie情qing況kuang下xia,不bu運yun動dong才cai是shi至zhi關guan重zhong要yao的de,因yin此ci傳chuan感gan器qi可ke用yong來lai檢jian測ce不bu需xu要yao的de運yun動dong。這zhe些xie特te性xing或huo性xing能neng升sheng級ji往wang往wang在zai現xian有you係xi統tong上shang實shi施shi,考kao慮lv到dao最zui終zhong係xi統tong的de功gong耗hao和he尺chi寸cun已yi確que定ding,或huo者zhe必bi須xu最zui小xiao化hua,MEMSguanxingchuanganqidexiaochicunhedigonghaotexingwuyijijuxiyinli。mouxieqingkuangxia,zhexiexitongdeshejirenyuanbushiyundongdonglixuefangmiandezhuanjia,yinci,zaijuedingshifoujinxingxitongshengjishi,wanquanjichenghexiaozhundechuanganqicunzaiyufoukenengshizuiguanjiandeyinsu。
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