【導讀】通過微機電係統和兩個壓力傳感器補償集成電路 (IC) yanshileyongyushenghuaheyiliaomudedeweiliutiliuliangceliang。liutideliusukeyitongguojingmijiagongtongdaoshangdeyajianglaiqueding。zhenggezujiananzhuangzaiyigexiaoxingtaocihunhezujianshang。

通過微機電係統和兩個壓力傳感器補償集成電路 (IC) yanshileyongyushenghuaheyiliaomudedeweiliutiliuliangceliang。liutideliusukeyitongguojingmijiagongtongdaoshangdeyajianglaiqueding。zhenggezujiananzhuangzaiyigexiaoxingtaocihunhezujianshang。

流體分析在當前的廣泛應用中至關重要。生物學
、醫學分析
、基因工程和許多其他領域都依賴於快速、和可重複的化學和生物分析。自動化流體樣品定量和分析的工具對於經濟實惠的性能至關重要。

高(gao)度(du)化(hua)的(de)電(dian)子(zi)傳(chuan)感(gan)器(qi)被(bei)設(she)計(ji)用(yong)於(yu)自(zi)動(dong)化(hua)樣(yang)品(pin)分(fen)析(xi)，但(dan)液(ye)體(ti)的(de)計(ji)量(liang)仍(reng)然(ran)是(shi)一(yi)個(ge)突(tu)出(chu)的(de)問(wen)題(ti)，必(bi)須(xu)以(yi)物(wu)理(li)方(fang)式(shi)完(wan)成(cheng)。該(gai)操(cao)作(zuo)通(tong)常(chang)通(tong)過(guo)由(you)步(bu)進(jin)電(dian)機(ji)驅(qu)動(dong)的(de)專(zhuan)用(yong)微(wei)型(xing)注(zhu)射(she)器(qi)來(lai)完(wan)成(cheng)。很(hen)容(rong)易(yi)想(xiang)象(xiang)與(yu)此(ci)類(lei)設(she)置(zhi)相(xiang)關(guan)的(de)難(nan)度(du)和(he)費(fei)用(yong)。

為了解決這個問題，DASA IMT 和 Seyonic SA（均位於瑞士納沙泰爾）開發了流通式微流體計量，作為太空實驗工具包的一部分。如下所述



，該設計的關鍵要素是微流量傳感器裝置。要求是：

小尺寸
化學惰性
溫度穩定性
長期穩定
簡單、輕鬆且全自動的重新校準
線性電壓-壓力輸出

celiangweiliutiliudongdeyizhongfangfashiceliangjichengdaoweiliutongdaozhongdexianzhijianshangdeyacha。yaliceliangtongguoshuangyazuyalichuanganqijinxing
，yigefangzhizaixianzhizhiqian
，lingyigefangzhizaixianzhizhihou。weilequebaochuanganqibushouhuaxueqinshixingliutideyingxianghuogaibian，jiayaliutishijiadaochuanganqimopiandebeimian（其單晶矽對化學物質相對不敏感）erbushizhengmian。zhezhongbuxunchangdepeizhitongguopingbiyetilaibaohuchuanganqidingbumingandeweidianzidianlu。weilefangzhijixiezhanglichanshengwucha，chuanganqianzhuangzaihoutaocijibanshang（圖 1）。

壓(ya)阻(zu)壓(ya)力(li)傳(chuan)感(gan)器(qi)具(ju)有(you)出(chu)色(se)的(de)靈(ling)敏(min)度(du)和(he)再(zai)現(xian)性(xing)，但(dan)它(ta)們(men)對(dui)環(huan)境(jing)溫(wen)度(du)的(de)變(bian)化(hua)非(fei)常(chang)敏(min)感(gan)。直(zhi)到(dao)近(jin)，還(hai)沒(mei)有(you)辦(ban)法(fa)在(zai)實(shi)現(xian)微(wei)流(liu)體(ti)流(liu)量(liang)傳(chuan)感(gan)所(suo)需(xu)的(de)小(xiao)尺(chi)寸(cun)和(he)快(kuai)速(su)響(xiang)應(ying)的(de)同(tong)時(shi)補(bu)償(chang)這(zhe)些(xie)誤(wu)差(cha)。該(gai)問(wen)題(ti)的(de)解(jie)決(jue)方(fang)案(an)之(zhi)一(yi)是(shi)新(xin)型(xing) MAX1458 傳感器信號處理器，它可以補償壓阻傳感器的初始誤差和溫度相關誤差。圖 2 將未經校正的傳感器的輸出與使用該 IC 補償的相同輸出進行了比較。

數字和用戶可編程寄存器對模擬信號路徑執行完全電子補償。對於環境溫度變化較大的應用

，如-40°C至+125°C汽車溫度範圍


，MAX1458可提供優於1%的總輸出精度。對於更有限的量程
，例如 +15°C 至 +45°C
，總壓力精度接近 0.1%。

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