針對應用材料公司製造平台的加載互鎖和輸送腔體應用，供應商Edwards集團有限公司推出了全新集成式真空泵IPUP2。該第二代泵在加載互鎖抽真空時間、能(neng)耗(hao)和(he)維(wei)護(hu)要(yao)求(qiu)方(fang)麵(mian)具(ju)有(you)明(ming)顯(xian)優(you)勢(shi)，這(zhe)些(xie)先(xian)進(jin)性(xing)能(neng)結(jie)合(he)起(qi)來(lai)為(wei)其(qi)帶(dai)來(lai)同(tong)類(lei)最(zui)佳(jia)的(de)性(xing)能(neng)和(he)擁(yong)有(you)成(cheng)本(ben)。由(you)於(yu)在(zai)應(ying)用(yong)材(cai)料(liao)公(gong)司(si)的(de)多(duo)類(lei)新(xin)設(she)備(bei)平(ping)台(tai)上(shang)取(qu)得(de)了(le)使(shi)用(yong)認(ren)證(zheng)，並(bing)已(yi)向(xiang)主(zhu)要(yao)半(ban)導(dao)體(ti)製(zhi)造(zao)商(shang)提(ti)供(gong)超(chao)過(guo)180套係統，該泵的先進設計已獲得初步成功。

 

Edwards公司銷售總經理馬克?格林（Mark Greene）評論說：“我們非常努力地工作，達到並超越應用材料公司對新一代泵的要求。IPUP2先進的設計減少抽真空時間50%左右，能耗節約70%，在大修間隔期免維護。很多半導體製造廠商

，甚至那些與我們競爭對手長期合作的製造廠商， 很快通過這些訂單認識到了IPUP2的抽氣能力和擁有成本優勢。“

真空泵IPUP2的優點 
 

IPUP2是為滿足應用材料公司的加載互鎖和輸送腔體抽真空規格而設計。IPUP2采用的精密軸承確保運行平穩、低(di)震(zhen)動(dong)，機(ji)油(you)潤(run)滑(hua)的(de)軸(zhou)承(cheng)和(he)定(ding)時(shi)齒(chi)輪(lun)使(shi)得(de)大(da)修(xiu)之(zhi)間(jian)無(wu)需(xu)常(chang)規(gui)維(wei)護(hu)。該(gai)泵(beng)抽(chou)氣(qi)速(su)率(lv)和(he)功(gong)率(lv)曲(qu)線(xian)得(de)到(dao)了(le)優(you)化(hua)
，以(yi)增(zeng)加(jia)機(ji)台(tai)產(chan)出(chu)能(neng)力(li)，最(zui)大(da)抽(chou)速(su)可(ke)達(da)180 m3/h，與第一代相比快89%，抽真空時間縮短54%，同時能耗節約70% （使用“綠色模式”還可進一步節能）。IPUP2包括水平和垂直進氣口，其尺寸和配置能夠與前一代泵直接互換。在測試中該泵得分很高
，平均故障間隔（Semi E10標準的MTBF)為5年
，可實現超過300萬次加載互鎖工作循環。現在IPUP2可見於應用材料公司的機台或直接由Edwards獲取。

相關閱讀：
真空泵的工作原理
機械真空泵銷售維修
熱分析與熱設計技術（下）
第八屆中國國際半導體照明展覽會暨論壇新品搶先看