兩家LED和太陽能生產設備巨頭今年二季度的財報相信會讓國人暗生豔羨卻又很不是滋味：Veeco Instruments 2010年第二季度的營收達2.53億美元，與2009年同期相比年增251.4%；Aixtron 2010年第二季度的營收達1.918億歐元
，年增238%。正zheng是shi固gu態tai照zhao明ming產chan業ye和he可ke再zai生sheng能neng源yuan產chan業ye的de蓬peng勃bo發fa展zhan讓rang這zhe兩liang家jia分fen別bie位wei於yu美mei國guo和he德de國guo的de企qi業ye賺zhuan得de是shi盆pen滿man缽bo滿man，中zhong國guo相xiang關guan生sheng產chan企qi業ye和he資zi本ben在zai其qi中zhong也ye可ke謂wei“貢獻”良多
，例如，有機構預計
，2010年Aixtron和Veeco的MOCVD將有35%以上是賣到中國大陸。

 

如何發展國產的太陽能和LED生sheng產chan設she備bei，降jiang低di生sheng產chan成cheng本ben，是shi關guan乎hu中zhong國guo綠lv色se節jie能neng產chan業ye健jian康kang發fa展zhan的de重zhong大da命ming題ti。目mu前qian國guo產chan太tai陽yang能neng光guang伏fu設she備bei在zai國guo內nei用yong戶hu中zhong已yi建jian立li起qi良liang好hao的de信xin譽yu，得de到dao業ye界jie的de廣guang泛fan認ren可ke
，越yue來lai越yue多duo的de客ke戶hu從cong國guo產chan設she備bei使shi用yong中zhong受shou益yi。中zhong國guo光guang伏fu設she備bei企qi業ye已yi基ji本ben具ju備bei太陽能電池製造整線裝備能力
，部分產品如擴散爐、等離子刻蝕機等開始少量出口

，擴散爐、等離子刻蝕機、清洗/製絨機、石英管清洗機、低溫烘幹爐)已在國內生產線占據主導地位，管式PECVD

、快速燒結爐和進口設備並存但份額在逐步增大，全自動絲網印刷機、自動分撿機
、平板式PECVD則基本依賴進口。

 

即將參展第76屆中國電子展暨亞洲電子展（上海）的青島華旗科技有限公司就是一家專業的半導體工藝設備及先進材料專用設備研發、製造廠家
，致力於為半導體集成電路分立器件、太陽能電池、半導體照明LED及磁性材料廠家提供先進的專用設備,工藝涵蓋化合物半導體晶體生長
、外延、薄膜澱積（氮化矽、氧化矽、多晶矽等）、氧化擴散退火（含快速退火工藝）合金、真空燒結等工藝。該公司最新推出的JDF200-3FS太陽能電池擴散爐可供太陽能電池片生產線上125mm×125mm 
、156mm×156mm方片擴散、氧化、退火等工藝使用，主要特點和優勢如下：

◆工業計算機控製係統，對爐溫、進退舟、氣體流量、閘門等動作進行自動控製

；

◆閉管式擴散係統
，有效降低生產成本
，更潔淨，更環保
；

◆石英舟采用軟著陸送片，高可靠性；

◆工藝有毒害尾氣定向收集、集中處理排放，更加安全環保；

◆具有多種工藝管路

，可供用戶隨意靈活配置；

◆具有斷電報警、超溫報警、極限超溫報警等多種安全保護功能；

◆控溫精度好
，溫區控溫穩定性好
；

◆關鍵件全部采用進口件，係統可靠性高
，抗幹擾性能強。

 

另一家參展商青島賽瑞達設備製造有限公司也將展示低壓化學氣相澱積設備、等離子增強化學氣相澱積設備和SRD-VGF單晶爐設備。其LPCVD用於澱積薄膜Poly-Si

、Si3N4、SiO2、磷矽玻璃
、硼磷矽玻璃、非晶矽及難熔金屬矽化物等多種薄膜。主要特性和優勢如下：

◆ 對工藝時間、溫度、氣體流量、閥門動作、反應室壓力實現自動控製
；

◆ 采用進口壓力控製係統
，閉環控製，穩定性強
；

◆ 采用進口耐腐蝕不鏽鋼管件、閥門，確保氣路氣密性
；

◆ 具有完善的報警功能及安全互鎖裝置
；

◆ 具有良好的人機界麵，靈活的工藝性能。

 

在LED照明方麵，中國的大功率特性襯底技術、加工穩定性以及對外延效率的提升率與國外相比，差距逐漸縮小，但是上遊生產性外延設備一直主要依賴進口昂貴的國外產品。MOCVD等關鍵設備對LED產(chan)業(ye)發(fa)展(zhan)具(ju)有(you)舉(ju)足(zu)輕(qing)重(zhong)的(de)作(zuo)用(yong)，有(you)識(shi)之(zhi)士(shi)都(dou)呼(hu)籲(xu)中(zhong)國(guo)相(xiang)關(guan)部(bu)門(men)要(yao)集(ji)中(zhong)人(ren)才(cai)和(he)資(zi)源(yuan)進(jin)行(xing)重(zhong)點(dian)開(kai)發(fa)，解(jie)決(jue)製(zhi)造(zao)設(she)備(bei)中(zhong)的(de)關(guan)鍵(jian)技(ji)術(shu)，掌(zhang)握(wo)具(ju)有(you)自(zi)主(zhu)產(chan)權(quan)的(de)核(he)心(xin)技(ji)術(shu)，並(bing)盡(jin)早(zao)實(shi)現(xian)LED生產設備國產化量產。隻有這樣才會加快推動LED產業發展，降低LED相關產品的成本，實現健康、迅速地發展。

 

可喜的是，即將在第76屆中國電子展亮相的國產LED生產設備為人們點燃了希望，以青島華旗科技和青島賽瑞達為代表的一批中國設備製造商在關注太陽能電池市場的同時，正把目光投向LED
、LCD、電力電子器件等市場應用領域，並保持住價格優勢，在新一輪的競爭中爭取更大的市場空間。他們或將成為改變中國乃至世界LED生產設備市場格局的重要力量。

 

圖2就是青島華旗科技的一款適用於化合物半導體-LED/半導體照明等科研領域的外延及晶體生長MOCVD係統。該係統由生長室
、氣源、氣體控製係統、真空係統、整機的計算機控製係統等組成，係統各工藝參數均可由計算機自動控製（WINDOW 界麵）。該產品可滿足2"多片晶圓
，支持GaN/GaAs等薄膜工藝、采用電阻加熱/感應加熱的結構形式，生產能力為2英寸1、3、6片。另外
，該公司還承擔了部分國家863項目（如半導體白光照明GaN生長的HVPE設備等）。

 

賽瑞達公司除了一係列太陽能專用設備之外，也開發了幾款LED生產設備
，包括LED專用擴散爐和專用合金爐。其LED專用擴散爐和專用合金爐關鍵件全部采用進口件
，具有高可靠性和高抗幹擾能力，具有可編程的升
、降溫功能
，以及有斷電報警、超溫報警、極限超溫報警等多種安全保護功能。可存儲九條工藝曲線，每條工藝曲線最多有九步
，曲線間可以任意鏈接
、重複。另外還具有多種工藝管路，可供用戶隨意靈活配置。賽瑞達可為客戶提供斜滾式推拉舟係統


，石英雙杆推拉舟係統及SiC漿推拉舟係統的靈活選擇。

 

上遊設備的成功本土化離不開下遊外延芯片廠、LED封裝廠、模塊乃至燈具供應商
、後端設備商的配合與支持。據悉
，本屆秋季中國電子展，彙集了真明麗、深圳市穩亮電子
、李洲科技
、寧波升譜電子、常州愛立德電子、台灣億光電子、金台電子等眾多大中小型LED企業，以及田中精機、昆山具良、日特機械工程、華勝科技
、上海富榮電子等一大批後端生產設備商，並專門開辟了LED照明展區


，為產業上下遊的互動提供了良好的互動平台，有利於促成他們之間的合作。當然
，就像有些專家指出的
，MOCVD等deng關guan鍵jian裝zhuang備bei的de國guo產chan化hua也ye是shi一yi件jian體ti現xian國guo家jia意yi誌zhi的de事shi情qing
，建jian議yi國guo家jia大da力li地di投tou入ru
，全quan麵mian地di支zhi持chi去qu做zuo這zhe件jian事shi，特te別bie要yao注zhu意yi工gong藝yi與yu設she備bei的de結jie合he

，要yao鼓gu勵li外wai延yan芯xin片pian廠chang商shang應ying用yong國guo產chan設she備bei，同tong時shi要yao給gei予yu一yi定ding的de資zi助zhu。