產品特性：

• 傳感器元件采用PSM-X2微機電係統工藝製造
• 采用雙腔技術製造

應用範圍：

• 可作為獨立元件使用
• 也可與三軸加速計進行整合

微型和無線半導體產品製造商和供應商SensorDynamics今天宣布推出雙軸和三軸陀螺儀。獲得專利的傳感器元件采用公認的PSM-X2微機電係統（MEMS）工藝製造。自2010年1月起，該工藝可用於8英寸晶圓。這些陀螺儀可作為獨立元件使用，也可以與三軸加速計進行整合，在價格、可靠性和微型化方麵都開創了廣闊的前景。

SensorDynamics將於2010年5月開始供應雙軸和三軸MEMS陀螺儀，作為獨立產品用於工業、自動化工程、醫學
、導航以及高端消費領域的應用。現已計劃開發一種經AEC-Q100認證的汽車用陀螺儀，運行溫度範圍為-40°C至+125°C。

新型三軸陀螺儀采用SensorDynamics獲得專利的雙腔技術製造，接下來即將與三軸加速計進行整合，在數平方毫米的芯片上創造一種六自由度的全麵慣性測量裝置(6DoF IMU)。麵向消費領域的適當產品預計將於未來三個月內麵市。

這些多軸陀螺儀已經為批量生產做好了準備


，其特征與SD75x、SD70x和SD77x/78x係列單軸產品的特征相同，不過相比之下，更高密度的整合意味著重要的成本優勢。