【導讀】2022年4月28日，中國上海 — 技術先進的CMOS圖像傳感器供應商思特威（SmartSens）與合肥晶合集成電路股份有限公司（以下簡稱“晶合集成”）合作推出了國產自研高端BSI工藝平台，作為國內自主技術能夠突破關鍵工藝難點的高度客製化BSI工藝平台，將以性能比肩國際一流水準的全國產化高端工藝平台賦能智能安防
、機器視覺

、車載電子以及智能手機等四大應用領域，並進一步推動本土高端CIS技術的升級發展。

近年來
，隨著智能安防、機器視覺以及車載電子等應用端對圖像傳感器的要求逐步提升，為了保證優異的暗光成像性能
，CMOS圖像傳感器的設計生產工藝也從FSI工藝（前照式工藝）朝著BSI工藝（背照式工藝）遞進
，用以提升CMOS圖像傳感器的暗光成像品質。

突破技術壁壘打造國產高端BSI工藝平台

在CMOS圖像傳感器小像素尺寸與高分辨率的市場趨勢下，BSI（Back SideIllumination）即背照式入射受到市場的重視和需求。相較於前照式入射方案，BSI將光線入射方向改至光電二極管的背麵

，可大幅提升CMOStuxiangchuanganqideliangzixiaolv，jiangdidianluguangxuechuanrao，tongshijiejuelexiangsuchicunweixiaohuahekuodaguangxueshijiaoxiangyingfangmiandezhongyaonanti
，jinershixianjijiadeanguangchengxiangpinzhi。

縱觀當下主流市場
，傳統前照式CIS隻要保證受光麵平整即可，對背麵的均一性並無特殊要求。而背照式則必須嚴格保證正反兩麵的平整性，這對微薄的背照式CIS帶來了非常大的技術難度
，同時BSI工藝平台屬於高度客製化工藝技術，在晶圓鍵合、減薄以及矽表麵鈍化等關鍵技術工藝方麵存在技術壁壘，需要極強的自主技術實力
，因此產能仍大多依賴於國外BSI工藝平台。

早在2020年，思特威就已與晶合集成攜手成功推出了DSI工藝平台並實現量產
，以優異的性能取得市場的一致好評。為了繼續提升產品性能

，2021年思特威開始進行本土BSI背照式先進工藝平台的研發，在多項關鍵技術工藝上取得突破性成果，創新推出了國產高端BSI工藝平台，可實現媲美國際一流水準的優異暗光成像性能。

三大先進工藝技術鑄就優異成像性能

此次思特威攜手晶合集成推出的國產自研高端BSI平台通過晶圓鍵合技術
、晶圓減薄技術以及矽表麵鈍化技術等三大關鍵工藝，可為當下智視應用提供一流的暗光成像性能。

該BSI高端工藝平台搭載晶圓鍵合技術，采用直接鍵合方式降低鍵合過程中晶圓畸變的產生
，大幅提升其鍵合力
，實現高像素性能
；同時，為實現更好的BSIguangdianerjiguanjiegou，jiyousiteweikaifayouhuadejingyuanjianbojishu，kezaijingyuanyanmojianbozhongzuidachengdujianshaoguidesunhao，baozhangchaogaojingdubingjiangguichendihouduchenggongjianbo，erqieduiyu850nm與940nm的近紅外增強也做了工藝優化，保障了晶圓強度並實現出色的感光性能
；此ci外wai

，該gai平ping台tai還hai采cai用yong了le業ye內nei前qian沿yan工gong藝yi材cai料liao打da造zao矽gui表biao麵mian鈍dun化hua技ji術shu，避bi免mian了le晶jing片pian拋pao光guang後hou對dui光guang電dian二er極ji管guan的de損sun壞huai，進jin一yi步bu減jian少shao白bai點dian與yu暗an電dian流liu的de產chan生sheng，提ti升shengCIS的暗光成像表現。

以高端BSI工藝平台賦能四大應用領域

此次推出的高端BSI工藝平台產品在感光度、噪聲控製、色彩表現以及高溫性能等方麵都實現了進一步的提升，相較傳統前照式工藝，其QE（量子效率）與感光度分別大幅提升了40%與55%，且暗電流降低了40%
，在低光照環境中擁有更優異的感光性能。同時此次發布的高端BSI平台的滿阱電子增加了40%，進而其動態範圍與最大信噪比有效提升了3.5dB與2dB，得以呈現細膩的明暗細節與影像質感。此外，為呈現更佳的色彩表現
，該BSI工藝的Chroma相較前照式增加了30%。思特威新高端BSI工藝平台將以全方位的性能提升力求賦能智能安防、車載電子、機器視覺以及智能手機等四大應用領域。

在安防應用中，傳統攝像頭在夜間拍攝中場景依舊是漆黑一片，且隻能展現物體輪廓
，而憑借高端BSI工gong藝yi的de加jia持chi
，攝she像xiang頭tou不bu僅jin能neng實shi現xian優you異yi的de夜ye視shi全quan彩cai影ying像xiang，還hai能neng捕bu捉zhuo諸zhu如ru畫hua麵mian中zhong的de人ren物wu臉lian部bu細xi節jie，甚shen至zhi在zai近jin紅hong外wai補bu光guang等deng超chao低di照zhao場chang景jing中zhong也ye能neng實shi現xian清qing晰xi影ying像xiang；而麵向夜間行車環境，BSI產品在保障汽車拍攝清晰影像畫麵的基礎上，還可進一步捕捉清晰的車牌等細節信息進行有效識別，從而提升行車安全性。

思特威技術副總裁新居英明先生表示：“此次推出的國產自研高端BSI工藝平台是思特威在CIS工(gong)藝(yi)層(ceng)麵(mian)的(de)又(you)一(yi)創(chuang)新(xin)突(tu)破(po)成(cheng)果(guo)，目(mu)前(qian)該(gai)平(ping)台(tai)已(yi)成(cheng)功(gong)進(jin)入(ru)量(liang)產(chan)階(jie)段(duan)，可(ke)實(shi)現(xian)極(ji)佳(jia)的(de)暗(an)光(guang)成(cheng)像(xiang)性(xing)能(neng)。作(zuo)為(wei)中(zhong)國(guo)本(ben)土(tu)為(wei)數(shu)不(bu)多(duo)擁(yong)有(you)自(zi)主(zhu)技(ji)術(shu)創(chuang)新(xin)能(neng)力(li)的(de)CMOS圖像傳感器芯片企業，思特威始終持續在圖像傳感器工藝層麵進行創新研發，並以此來提升我們自身產品的成像性能，全新國產化高端BSI工藝平台將以國際一流成像水平賦能諸如智能安防
、機器視覺以及車載電子等更多智視終端

，推動本土高端CIS技術的國產化替代。（譯文）”

晶合集成業務副總經理周義亮先生表示：“晶合集成與思特威都是將創新作為研發源動力的國內高科技企業，此次我們很高興能與思特威合作推出國產自研高端BSI工藝平台，並在晶圓鍵合、減jian薄bo工gong序xu以yi及ji特te定ding工gong藝yi應ying用yong等deng方fang麵mian實shi現xian新xin的de突tu破po。相xiang信xin未wei來lai雙shuang方fang的de創chuang新xin基ji因yin將jiang不bu斷duan地di創chuang造zao更geng高gao價jia值zhi曲qu線xian
，並bing進jin一yi步bu助zhu推tui中zhong國guo半ban導dao體ti產chan業ye在zai高gao端duanCIS技術領域的國產化替代。”

目前
，思特威國產自研高端BSI工藝平台已完成首顆項目流片，預計將在2022年Q2進入量產階段。

關於思特威 （SmartSens Technology）

思特威（上海）電子科技股份有限公司（SmartSens Technology）是一家從事CMOS圖像傳感器芯片產品研發、設計及服務的高新技術企業
，2011年創立，總部設立於中國上海，在北京、深圳、杭州
、香港、xinzhuyijimeiguoshenghesaidengduogechengshisheyouyanfazhongxinyuxiaoshoubangongshi，wangluobianjiquanqiu。siteweiyichuangxinweiqudong，zhuanzhuyuweikehutigongmianxiangweilaihequanqiulingxiandeCMOS圖像傳感器芯片產品。憑借一支精於創新、覆蓋全球的研發團隊，思特威自主研發出了優秀的夜視全彩技術
、SFCPixelTM專利技術、Stack BSI的全局曝光技術等諸多業內領先的創新技術。

zichengliyilai，siteweishizhongzhuanzhuyugaoduanchengxiangjishudechuangxinyuyanfa
，pingjiexingnengyoushizaitongzhihuajingzhengzhongtuoyingerchu
，dedaolegengduokehuderenkeheqinglai。gongsichanpinyebuduanchengshubingquelileanfanglingyuxingyelingxiandiwei，chanpinbianjianfangjiankong、車載影像、機器視覺及消費類電子產品（運動相機、無人機、掃地機器人
、智能家用攝像頭）等應用領域。自2017年起
，思特威已連續多年在CIS產品安防領域全球市場占有率上保持領先
，並已成為消費類機器視覺領域Global Shutter CIS龍頭企業。今後亦將在人工智能、手機影像、車載電子等新興應用領域不斷拓展創新。欲了解更多信息，請訪問： wwwhttp://m.0-fzl.cn/power-art/80042021.smartsenstech.com。

推薦閱讀：

KIOXIA鎧俠慶祝NAND閃存發明35周年

Lucid Motors與Wolfspeed強強合作
，在屢獲殊榮的Lucid Air車型中采用SiC半導體

貿澤讚助FIRST 機器人大賽支持下一代工程師銳意創新

安森美將在PCIM Europe 2022展示高能效方案

貿澤2022 Empowering Innovation Together係列第二期帶您探索沉浸式技術