dangchuanganqizhutidesudufashengbianhuashi
，huichanshengsuizhesudubianhuaerbianhuadeli，gailijiangtongguodanhuangbeishijiayuguanxingzhitishang。jutilaishuo，shouxiangailishidanhuangfashengwanqu，ranhouyuanjianzhutiyuguanxingzhitidejulihuiyujiasuduchengbilidifashengbianhua。

 

傳chuan感gan器qi的de工gong作zuo原yuan理li會hui根gen據ju主zhu體ti與yu慣guan性xing質zhi體ti相xiang對dui移yi動dong的de檢jian測ce方fang式shi的de不bu同tong而er有you所suo差cha異yi。電dian容rong式shi傳chuan感gan器qi，主zhu體ti與yu慣guan性xing質zhi體ti是shi相xiang互hu絕jue緣yuan的de
，通tong過guo測ce量liang電dian容rong來lai檢jian測ce加jia速su度du。當dang主zhu體ti與yu慣guan性xing質zhi體ti之zhi間jian的de距ju離li減jian小xiao時shi
，電dian容rong就jiu會hui增zeng加jia，電dian流liu會hui向xiang傳chuan感gan器qi的de信xin號hao處chu理liIC流動。距離增加時
，情況則會相反。傳感器可將主體的加速度轉化為電流、電荷、電壓三者之一從而進行測量。

 

hexinjishu，chuanganqiketongguoweixiaodedianrongbianhualaijinxingxiangguanceliang，gaimoshitebieshihebeiyongyujiancechuanganqidexiweiyundong，qiexingnengzhuoyue。jiasuduchuanganyuanjianshiyidanjingguiheboliweicailiaozhichengde，yincichuanganqichanpinkeqingsongyingduishiyongshijianhewendubianhuadailaidegezhongtiaozhan，juyouchusedekekaoxinghewendingxingyijiqiansuoweiyoujingdu。

 

量程1g的傳感元件能夠承受超過50,000g標準的加速度 (1g=地球引力所產生的重力加速度) 。電容式的傳感元件不僅能夠測量正負兩個方向的加速度
，還能檢測靜止加速度和振動。

 

Low-G加(jia)速(su)度(du)傳(chuan)感(gan)器(qi)和(he)傾(qing)斜(xie)傳(chuan)感(gan)器(qi)的(de)核(he)心(xin)部(bu)分(fen)
，是(shi)兩(liang)個(ge)位(wei)置(zhi)對(dui)稱(cheng)的(de)以(yi)體(ti)型(xing)微(wei)加(jia)工(gong)技(ji)術(shu)製(zhi)成(cheng)的(de)具(ju)有(you)電(dian)容(rong)特(te)性(xing)的(de)加(jia)速(su)度(du)傳(chuan)感(gan)器(qi)元(yuan)件(jian)。對(dui)稱(cheng)的(de)結(jie)構(gou)不(bu)僅(jin)減(jian)小(xiao)了(le)溫(wen)度(du)依(yi)賴(lai)性(xing)和(he)它(ta)軸(zhou)靈(ling)敏(min)度(du)，還(hai)提(ti)升(sheng)了(le)線(xian)性(xing)。密(mi)封(feng)性(xing)是(shi)通(tong)過(guo)以(yi)陽(yang)極(ji)接(jie)合(he)的(de)方(fang)式(shi)使(shi)晶(jing)元(yuan)相(xiang)互(hu)接(jie)合(he)來(lai)實(shi)現(xian)的(de)。

 

因此，傳感元件的封裝變得更容易
，可靠性也更好，同時傳感器內阻尼氣體的使用也成為可能。

 

3軸檢測 

 

3軸加速度傳感器的設計理念是始終沿襲使用1軸加速度傳感器的方式。3軸加速度傳感器元件所用到的技術包括由1軸加速度傳感器發展而來的技術
，Bulk MEMS工藝以及電容檢測結構等。

 

 

傳感器元件元件內部有多個質量塊，這些通過分散MEMS技術加工出的質量塊被晶元表麵周圍的扭轉彈簧支撐著。與表麵MEMS工藝相比，厚度和重量都更大
，從而可以實現高靈敏度和低噪音。

 

zuizhongdejiancejieguoyoujiangduogezhiliangkuaidejiancejieguoshiliangdiejiadedaode。zhiliangkuaideshangxialiangcejuyoudianrongjiancedegongneng。dangzhiliangkuaibeishijiayigejiasudushi，tongguoniuzhuandanhuangdezuoyong，zhiliangkuaihuixiangxuanzhuanfangxiangyundong，congerzhiliangkuaishangxialiangcededianronghuisuizhifashengbianhua。

 

多個質量塊的矢量組成通過內部的ASIC進行合成計算，就能輸出傳感器X,Y,Z三個方向的加速度。根據計算結果就能夠實現3軸的高精度線性響應。