能neng和he人ren對dui話hua
，目mu前qian我wo們men專zhuan注zhu的de領ling域yu是shi振zhen動dong分fen析xi，當dang然ran
，一yi般ban振zhen動dong分fen析xi會hui結jie合he溫wen度du檢jian測ce應ying用yong。通tong過guo振zhen動dong分fen析xi，可ke以yi保bao證zheng機ji器qi的de安an全quan性xing
，做zuo預yu維wei護hu，量liang產chan保bao證zheng以yi及ji質zhi量liang監jian控kong。

 

ADI基於對MEMS傳感器以及模擬電路設計經驗的積累，於近兩年發布了一係列超低噪聲的振動傳感器，也就是ADXL100x係列加速度計。它們可以用來替代傳統的壓電傳感器
，可以說是列劃時代的產品
，使得智能製造成為可能。

 

與傳統的壓電傳感器相比
，MEMS的振動傳感器有非常多的優勢，比如說MEMS可以低頻甚至是直流信號
，但壓電的就不行
，這是受其設計原理的限製。再就是耐衝擊的能力;隨著時間和溫度變化，傳感器的穩定性;整個測量範圍內的線性度;刻度因子的平坦度；物理尺寸;傳感器是否能自檢等等。這些都是MEMS振(zhen)動(dong)傳(chuan)感(gan)器(qi)的(de)優(you)點(dian)。還(hai)有(you)最(zui)重(zhong)要(yao)的(de)一(yi)點(dian)就(jiu)是(shi)價(jia)格(ge)，由(you)於(yu)壓(ya)電(dian)傳(chuan)感(gan)器(qi)需(xu)要(yao)手(shou)工(gong)製(zhi)作(zuo)，既(ji)無(wu)法(fa)保(bao)證(zheng)一(yi)致(zhi)性(xing)
，又(you)使(shi)得(de)其(qi)成(cheng)本(ben)很(hen)高(gao)，很(hen)難(nan)享(xiang)受(shou)規(gui)模(mo)效(xiao)應(ying)所(suo)帶(dai)來(lai)的(de)好(hao)處(chu)，但(dan)MEMS振zhen動dong傳chuan感gan器qi是shi采cai用yong的de標biao準zhun半ban導dao體ti工gong藝yi，很hen容rong易yi利li用yong規gui模mo效xiao應ying來lai控kong製zhi成cheng本ben
，使shi得de其qi與yu壓ya電dian傳chuan感gan器qi相xiang比bi
，有you明ming顯xian的de價jia格ge優you勢shi。這zhe樣yang，才cai能neng讓rang所suo有you的de機ji器qi說shuo話hua，因yin為wei其qi成cheng本ben是shi可ke接jie受shou的de。

 

未來該類傳感器的發展會是小型化，低功耗，低噪聲，大帶寬和高量程。而且在客戶端會有越來越多的無 線解決方案來替代傳統的有線方案。

 

圖1：趙延輝 ADI亞太區微機電產品市場與應用經理