高性能MEMS IMU解決方案
發布時間:2017-05-24 責任編輯:wenwei
【導讀】對於複雜且高動態慣性配置的MEMS IMU應用,評估功能時需要考慮許多屬性。在設計周期早期評估這些屬性優於追逐開放性成果,從而實現“盡可能精確”。這裏我們分享了適合高要求應用的高性能MEMS IMU解決方案。
什麼是IMU?
它代表慣性測量單元。 當有人提到這個縮寫名稱時,我們先看一下傳感器功能,它們能做什麼。 想象一個笛卡爾坐標係,如下圖所示,具有x軸、y軸和z軸,傳感器能夠測量各軸方向的線性運動,以及圍繞各軸的旋轉運動。 這就是所有慣性測量單元的根本出發點,所有慣性導航係統都是據此而構建。

這些器件帶有一個三軸加速度計,顯然這是指x軸、y軸和z軸。 加速度計會測量線性速度的變化,也會響應重力。
IMU中傳感器的功能
加速度計會根據其方向而對重力作出響應,如左圖所示,這使得我們能夠基於非常簡單的三角公式估算其方向。 利用arcsin公式,我們可以使用一個軸,而利用arctan公式,我們可以將笛卡爾坐標係中兩個彼此正交的軸合並。
二者的主要區別在於:arcsin方法能夠測量+/- 90度,而arctan方法能夠測量+/- 180度,也就是全部360度,這樣您將知道您在哪一個象限。

陀螺儀對旋轉角速率進行積分,您就能估算角位移。 大致上說,加速度計具有很好的長期偏置穩定性和長期精度,但會對線性振動作出響應。 dangjinxingjiaodugujishi,xianxingzhendonghuibiaoxianchulai,youshihouxuyaolvbo,zhehuigeiqitafangmiandailaifudan,huozheyoushihouzhendongtaigao,chaochujiasudujiceliangfanwei,congerwanquanpohuaijiaoduguji。
因此,陀螺儀沒有對線性振動的一階響應,但因為它對輸出進行積分,所以任何偏置誤差都會轉換為角度估計的漂移。 任何係統的基本調整空間在於使用此類傳感器的根本出發點。 加速度計的長期穩定性更好,但易受振動影響。 陀螺儀不易受振動影響,但長期穩定性較差,會導致估算更快地漂移。
IMU應用實例:工業檢查係統
想象屏幕上方的灰色條是生產車間的天花板。 天花板安裝了某種攝像或照相設備,該設備檢視其視場下方的生產線中的物件。 再想象某個東西進入視場,停留適當的時間以供拍照,然後移動到工藝的下一部分。
攝像頭的目標是在檢視對象上分辨出特定物理屬性。 很顯然,它離地必須足夠高,以便其視場能涵蓋整個對象,但又不能過高以致圖像失真。 在此類場景中,工廠中的叉車、大量人員和其他機械的行走會引起此類設備擺動,圖中的紅色虛線反映了這種情況,擺動的最大角度用希臘字母φ加下標SW表示。
圖(tu)中(zhong)所(suo)示(shi)的(de)情(qing)況(kuang)與(yu)實(shi)際(ji)發(fa)生(sheng)的(de)情(qing)況(kuang)相(xiang)比(bi)有(you)些(xie)誇(kua)大(da),但(dan)把(ba)虛(xu)線(xian)端(duan)部(bu)與(yu)理(li)想(xiang)的(de)攝(she)像(xiang)機(ji)視(shi)場(chang)中(zhong)心(xin)相(xiang)比(bi)較(jiao)非(fei)常(chang)重(zhong)要(yao),因(yin)為(wei)在(zai)這(zhe)個(ge)特(te)定(ding)應(ying)用(yong)中(zhong),失(shi)真(zhen)可(ke)以(yi)與(yu)線(xian)性(xing)位(wei)移(yi)聯(lian)係(xi)起(qi)來(lai),也(ye)就(jiu)是(shi)底(di)部(bu)的(de)變(bian)量(liang)dsw。 最終,該檢查係統的質量取決於您能把dsw和φsw項縮小到什麼程度。

zhidaogaileiyundongcunzaibingkaolvwuliweiyiyushijijiaodubaidongweiyizhijiandejiandanjiheguanxi,ninjiukeyibatabiaoshichengwulishuyu,bingyuxitongdeshijicanshulianxiqilai。
假設檢查一塊塑料,要求它恰好為12英寸長,誤差為+/-0.5英寸。 因此,攝像機視場的分辨率必須在0.5英寸以內,由此可以反推出攝像機平台的實際角度精度要求。

運動控製涉及各種各樣的應用。 假設把攝像機,也就是攝像機上的實際成像元件,放在一個小型伺服電機上,它將能抵消擺動效應。 當攝像機向左擺動時,伺服電機向右擺動,這樣,接收物件表麵光線的成像元件實際上沒有運動,圖像就不會失真。 這就是成像穩定技術, 現在已經相當普遍。 過去它隻用在高端攝像機上,現在由於MEMS技術,大量數碼攝像機也已采用。
這是一個工業應用示例,它有不同的誤差源需要考慮,但原理非常簡單。 使用MEMS陀螺儀測量運動,然後經過一係列數字信號處理,包括濾波、校準和積分,以便估計擺動角度,讓伺服係統知道要往回擺動多遠。 這就是所謂閉環係統。

了解這些之後,對於此類係統,我們就能知道這些誤差源對係統性能會有什麼樣的影響。
再看原圖,實際上添加了兩條綠色虛線,這個窗口要窄得多。 紅線反映係統中實際發生的情況,綠線告訴我們控製係統穩定攝像機的效果。

有了這些物理參照之後,為了使它有效,陀螺儀性能必須達到什麼程度? 回到之前的公式,不過現在是應用於綠線,它代表執行校正之後或控製環路全麵運行之後的殘餘誤差。
在這張幻燈片中,最重要的一點是它讓我們能將係統的物理參數與傳感器指標聯係起來。 如ru今jin的de運yun動dong控kong製zhi係xi統tong設she計ji師shi必bi須xu不bu斷duan地di考kao慮lv物wu理li行xing為wei與yu傳chuan感gan器qi特te性xing兩liang方fang麵mian,隻zhi有you這zhe樣yang才cai能neng作zuo出chu最zui恰qia當dang的de決jue策ce。不bu僅jin是shi設she計ji產chan品pin,甚shen至zhi還hai要yao考kao慮lv概gai念nian和he架jia構gou決jue策ce,需xu要yao從cong何he種zhong等deng級ji的de傳chuan感gan器qi開kai始shi以yi便bian成cheng功gong實shi現xian特te定ding應ying用yong。 此類考慮常常是富有成效的,因為它能幫助您從一開始就找準設計思路。

我們都想要成本低至1美元、功耗隻有1微安而且終身都保持最高精度的傳感器。 但現實是,利用目前的技術無法製造出這樣的產品。 現有解決方案的成本從不到1美元到10萬美元不等。 對於手頭的設計任務,從一開始就要考慮尋找最合適的傳感器。 上麵提到過,關於運動檢測器件,最令人激動的地方是我們能親眼看到它。 我可以在桌麵上推動玻璃杯, 我可以轉動我的座椅, 這些都可以同我每天都要打交道的東西聯係起來,顯然很有幫助。
現在看一個真正重要的參數,並了解陀螺儀是如何規定的。IEEE規範通過許多方式來量化噪聲,但對於這個特定應用,最合適的方式是查看角向隨機遊動。 藍色虛線顯示的是誤差相對時間的累積。 對於我們的攝像或成像係統,您可以確定圖像捕捉時間d有多長? 它是否意味著快門打開的時間? 它是否意味著器件停止以供攝像的時間?

您可以通過多個方麵來把我們的應用與此類指標聯係起來,這樣我們就可以開始估計,在我們的時間範圍內,其擺動幅度有多大? 在這個特定情形中,快門開啟時間為0.1秒或100毫秒,對應的誤差小於0.001度。
各類IMU產品的區別在哪裏
工業級MEMS技術是相對消費級器件而言的,前者成本更高,但遠低於傳統光纖或環形激光陀螺儀技術。 這裏將從消費級市場開始,說明我們所稱的技術差別。
從(cong)多(duo)個(ge)角(jiao)度(du)看(kan),這(zhe)種(zhong)技(ji)術(shu)差(cha)異(yi)都(dou)是(shi)值(zhi)得(de)關(guan)注(zhu)的(de),正(zheng)如(ru)前(qian)麵(mian)所(suo)說(shuo)的(de),目(mu)前(qian)市(shi)場(chang)上(shang)有(you)很(hen)多(duo)應(ying)用(yong),包(bao)括(kuo)大(da)量(liang)可(ke)穿(chuan)戴(dai)技(ji)術(shu)和(he)手(shou)機(ji)等(deng),其(qi)動(dong)態(tai)角(jiao)度(du)估(gu)計(ji)能(neng)有(you)幾(ji)度(du)的(de)分(fen)辨(bian)率(lv)精(jing)度(du)就(jiu)夠(gou)好(hao)了(le)。 對於手機而言,若想知道圖片的哪個方向朝上,精度隻要大約45度就可以了。 在手機上查看不同的東西或玩遊戲時,常常也隻需要3到5度的精度。
再看偏向於工業應用的器件,您會要求其性能高出10倍以上,而且要能承受更惡劣的環境條件,這很重要。 使用成本不到10美元的器件時,年使用量可能是10,000隻;再看工業級陀螺儀,使用量可能是數百隻左右,成本可能是100美元,理解這一點很重要。
談論簡單運動和複雜運動時,想想它涉及到多少個軸。 我拿著手機,沿著一個方向轉動,那麼就是繞一個軸旋轉。 這是相對簡單的運動。再想象有一輛無人駕駛汽車,沿著崎嶇的路麵高速行駛。 很顯然,它會沿著各個方向跳動,因此可以預期,所有三個軸方向上都有運動,不光是三個軸,還有線性和旋轉信息。 您會考慮需要什麼樣的精度,還有應用所處的條件。

從這裏的說明可以看出,消費級設備在變得越來越好,但工業級設備也是如此。 隨著時間推移,某些應用空間會成熟起來。 消(xiao)費(fei)級(ji)設(she)備(bei)可(ke)能(neng)跟(gen)上(shang)一(yi)些(xie)發(fa)展(zhan),並(bing)且(qie)幫(bang)助(zhu)解(jie)決(jue)許(xu)多(duo)需(xu)求(qiu),但(dan)總(zong)是(shi)存(cun)在(zai)一(yi)係(xi)列(lie)不(bu)斷(duan)發(fa)展(zhan)的(de)應(ying)用(yong)需(xu)要(yao)更(geng)高(gao)的(de)性(xing)能(neng)水(shui)平(ping),而(er)且(qie)會(hui)有(you)項(xiang)目(mu)來(lai)證(zheng)明(ming)為(wei)此(ci)付(fu)出(chu)額(e)外(wai)的(de)成(cheng)本(ben)是(shi)值(zhi)得(de)的(de)。
大量研究都發現了這樣一個趨勢:偏置和其他重要參數的長期穩定性與對傳感器中的機械應力的管理好壞有關。 封裝已變得非常重要。 往手機中添加東西時,需要把它做得盡可能小,成本盡可能低;不是任務需要的材料,每一微克都要從設備中去除。 自然,它們會更容易受物理應力影響。 甚至把手機放到口袋這樣簡單的事情也會導致封裝彎曲,改變其特性。 對於這些事情,工業級IMU至少會在一階上進行處理。

核心傳感器知識和經驗
下圖右上方是一個四諧振器內核,ADXRS64X係列陀螺儀實際上就是采用這種內核。 該四諧振器內核提供兩種不同水平的線性抑製,我們稱之為器件的共模抑製。 這使它在振動抑製方麵實現了大跨越。 尤其是0.0001度/秒/g2這一數據,對許多傳統上需要數萬美元解決方案才能上市的應用而言,可謂關係重大。 現在,不到1,000美元的解決方案就能實現此類性能。 它在麵市時是非常令人激動的,今天仍然很常用。

新一代傳感器技術,即右下方的彈性碟方法,是當前產品的核心技術,ADXRS290和ADIS16460慣性測量單元均采用該技術。 利li用yong多duo方fang麵mian的de工gong藝yi改gai進jin和he全quan新xin的de機ji械xie架jia構gou,我wo們men得de以yi降jiang低di噪zao聲sheng和he角jiao向xiang隨sui機ji遊you動dong,這zhe在zai前qian麵mian的de幻huan燈deng片pian中zhong已yi予yu以yi說shuo明ming,其qi性xing能neng比bi我wo們men過guo去qu的de工gong業ye級ji產chan品pin線xian所suo采cai用yong的de各ge種zhong陀tuo螺luo儀yi技ji術shu要yao高gao出chu4倍。
核心傳感器的典型性能差距在哪裏?
針對消費市場的MEMS IMU與針對工業市場的MEMS IMU進行比較時,又會顯露出哪些重要特性?
* 跨軸靈敏度
* 線性振動抑製

跨軸靈敏度
想象把一個IMU放在桌麵上,並使它來回轉動。 理論上,該運動隻應顯示在一個陀螺儀上,假設是z軸。 x軸和y軸陀螺儀對此不應有所響應。 然而,它們實際上會有所響應,跨軸靈敏度反映的就是這種響應的程度。 跨軸靈敏度還與這些器件在內部的對齊程度有關。 除物理對齊外,還有電子校準對齊。 就跨軸靈敏度而言,一般器件的典型值為2%,而針對工業市場的MEMS器件則是不到0.1%。 二者相差大約20倍,某些情況下您可以通過係統校準來彌補,但它仍有封裝依賴性,當封裝隨著時間而鬆弛時,跨軸靈敏度又會降低。 因此,針對要求終身保持高性能的應用進行設計時,必須考慮這一10到20倍的性能差距。
線性振動抑製
想象一下,讓搭載IMU的印刷電路板在同一張桌子上沿線性方向來回運動。理論上,陀螺儀僅測量角向運動,因此其響應應為0。 然而,由於器件製造的一些實際限製,所有MEMS陀螺儀對線性振動都有一定程度的響應。 如何規定和說明這種響應,對製造商而言是一個重要判斷點,很多時候根本不做規定。 即使做了規定,也不是在全頻率範圍內進行測定或規定。 一個器件可能有100 Hz的諧振頻率,若用一個grms激勵它,陀螺儀上可能顯示一個10度/秒信號,這會擾亂所有需要一定精度水平的測量,因為它是一個非模式化的誤差。 對此需要進行非常細致的研究,這是非常重要的。
以典型方式把這些參數放在相關情形下進行分析,紫色線表示速率噪聲密度。 速率噪聲密度代表器件完全靜止時的輸出噪聲。 橙色和紅色虛線表示我剛才討論的內容。 這些是噪聲源,可能來自我們所稱的無關源,導航行業稱之為非模式化的能量源。 市場上可能有這樣的器件:一個器件的紫色線比另一個器件要低,但機械諧振和線性振動響應卻要高得多。

如ru果guo隻zhi看kan一yi個ge噪zao聲sheng參can數shu,可ke能neng會hui輕qing信xin這zhe隻zhi陀tuo螺luo儀yi更geng好hao,但dan實shi際ji上shang,您nin需xu要yao關guan注zhu所suo有you三san個ge參can數shu和he線xian性xing振zhen動dong信xin息xi,甚shen至zhi可ke能neng要yao估gu計ji軸zhou上shang的de旋xuan轉zhuan量liang。 全麵地看問題,而不要片麵地看問題,確實非常重要。 從頻譜角度看,總噪聲就是曲線下方的麵積。 在這一特定情形中,總能量顯然是以線性振動響應為主,但不同應用會有不同的分析。 重要的是,在作出關於使用何種產品的長期決策之前,務必注意這一點。
了解實際的測試信息非常重要。 數據手冊常常不提供此類信息,需要您去詢問。 多數公司開設了論壇,您可以在其中提問。 如果不能在論壇中詢問,請通過銷售渠道查詢,能否找到生產線人員並谘詢。 否則可能會出問題。 這裏給出了兩個不同陀螺儀的響應曲線,左邊是ADXRS290,右邊是一款主要針對消費市場的器件。 雖然工業級器件經受的振動要高出3倍,但其性能仍然要高出10倍左右。 若把它放到上一張幻燈片中,計算曲線下的總能量,濾波需求將很可怕,帶寬會非常低,因為這會影響穩定性控製。 所以,了解這些重要區別是極其重要的。

IMU機械設計如何避免設計陷阱
第一,根據現有的最佳建議開始機械設計。 我們已經看到,機械設計不當會引起長期漂移。 需要強調的是,如果把IMU安裝在不是針對它而設計的表麵上,封裝上就會有應力,進而影響器件的行為。 對此您應有所考慮。
第二個需要考慮的事項是:如何連接該器件? 如果是嵌入式SPI產品,它本質上是一個從機,您需要4條IO線來管理SPI接口。 您需要電源, 需要接地,有時還需要時鍾或數據就緒接口,但其實也就這麼簡單。 您需要考慮長期係統的接口類型。
第三是注意通信協議。 我們所有數據手冊都有簡單的測試案例,您可以在環運行,調試信號完整度、代碼、位序、時序等。 我們還有示例代碼,它可幫助您快速上手,但其在細節上有所不同。 它提供測試碼供您使用,您可以用示波器探頭排除各類故障。 這也是大家都感興趣的一個方麵。
第四起始代碼。利用這些代碼,您就能將器件連接到嵌入式處理器。

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