zaigongchang，gongyejiqirenxuyaogancedaogongrendecunzai，yibimianduigongrenzaochengshanghai。ciwai，tamenhaiyinggainenggoujiancedaoyichangqingkuang
，lirukenengzaochengsunhuaidejuliezhendong。fuwujiqiren，wulunshishouweicangkuhuozuoweiyuanchenggongzuorenyuandewangzhenzhuangzhi，douxuyaojinxingzizhudaohang。jiuxiangwomenyongtianshengdeganguanyiyang，jiqirenyexuyaojiezhuchuanganqijishushitamenbiandegengzhineng、使用更安全，同時增加對人類的用途。

 

圖：MEMS傳感器

 

MEMS傳感器是令人驚奇的小器件，大小僅為幾平方毫米，通常包含兩個芯片。一個是傳感器芯片，通常來說MEMSqijiantigongyundonghuoyalixinxi，dantayekeyiyongzuocixinggutaichuanganqi。lingyigexinpiantigongbiyaodexinhaochuligongneng
，kejianglaizichuanganqideweiruodemonixinhaozhuanhuanweiyouyongxinxi，bingtongguoyixiechuanxingzongxianchuandizhexiexinxi。

 

這些傳感器外形小巧、jiageshihui
，shijiqirendelixiangpeijian。tamenjixiaoqiaoyoushihui，tongchangneiqianzaizhinengshoujiheqitaxiaofeidianziyouxiyingyongzhongjinxingxiaoshou，muqianyishouchuleshuyige。ciwai，tamendehaodianlianghendi。liru
，dangcaiyong2V或3V電源時
，一個加速度傳感器的功耗通常不到10μA；功耗通常是頻率和理想操作點精度之間的一個平衡點。低功耗方案


，如低於1μA，haikeyitongguozhuanyongchuanganqilaishixian，zhexiechuanganqikezuoweiyigeyundongchufaqihuocuangaitancedanyuanlaiyunxing。tamentigongdekuaisuhuanxingheguanbijizhishiyingxianggonghaodezuizhongyaodecanshu。jienengjishujianggenjuyingyongxuqiuhuoqushujudiansuoxudepinlverbuduanbianhua。

 

對(dui)於(yu)空(kong)間(jian)受(shou)限(xian)應(ying)用(yong)，機(ji)器(qi)人(ren)設(she)計(ji)人(ren)員(yuan)還(hai)可(ke)以(yi)選(xuan)用(yong)內(nei)置(zhi)了(le)微(wei)控(kong)製(zhi)器(qi)和(he)內(nei)存(cun)的(de)加(jia)速(su)度(du)傳(chuan)感(gan)器(qi)，通(tong)過(guo)定(ding)製(zhi)軟(ruan)件(jian)構(gou)建(jian)微(wei)小(xiao)的(de)係(xi)統(tong)。由(you)於(yu)這(zhe)些(xie)傳(chuan)感(gan)器(qi)通(tong)常(chang)無(wu)需(xu)其(qi)它(ta)處(chu)理(li)器(qi)便(bian)能(neng)連(lian)接(jie)其(qi)它(ta)傳(chuan)感(gan)器(qi)，因(yin)此(ci)經(jing)常(chang)被(bei)稱(cheng)為(wei)傳(chuan)感(gan)器(qi)集(ji)線(xian)器(qi)。例(li)如(ru)
，飛(fei)思(si)卡(ka)爾(er)XtrinsicMMA9550L提供3x3-mm三軸加速度傳感器和帶有14KB閃存和1.5KBRAM的32位微控製器。當機器人的末梢或手臂部分需要安放傳感器時，飛思卡爾XtrinsicMMA9550Lheqitaleisiqijianjiufeichangyouyong
，yinweijiqirendemoshaohuoshoubibufendekongjianfeichangxiaxiao。lingyigeyingyongshishejijingzhixiaoqiaodekechuandaishijiqirenxitong

，shenzhiyongyuneikuijingjianzhayiliaoyingyongdeketunyanjiqirenjiaonang。

 

這類器件上的板載內存和微控製器也可用來實施傳感器通信協議，如IO-Link。這個日益普及的傳感器網絡協議需要約10KB的內存，因此
，它可以集成在這個小巧的裝置中
，實現全新傳感器節點的設計和規格。

 

 

在傳感器係統設計中，下一步是借助您能夠並且應該擁有的所有“感官”，來實現機器人性能目標。這通常被稱為傳感器融合
，支持傳感器係統利用各個傳感器的優勢生成更準確的數據和更好的產品設計。

 

例如
，電子羅盤可指示南/北bei方fang向xiang。雖sui然ran有you人ren可ke能neng認ren為wei
，讀du取qu地di球qiu磁ci場chang的de磁ci傳chuan感gan器qi足zu以yi提ti供gong穩wen定ding的de信xin息xi，但dan事shi實shi並bing非fei如ru此ci。磁ci傳chuan感gan器qi的de輸shu出chu值zhi將jiang隨sui傳chuan感gan器qi向xiang上shang或huo向xiang下xia傾qing斜xie而er發fa生sheng變bian化hua
，因yin此ci需xu要yao添tian加jia線xian性xing運yun動dong傳chuan感gan器qi（加速度傳感器）來(lai)感(gan)測(ce)傾(qing)斜(xie)運(yun)動(dong)，並(bing)采(cai)用(yong)某(mou)個(ge)三(san)角(jiao)函(han)數(shu)算(suan)法(fa)補(bu)償(chang)磁(ci)傳(chuan)感(gan)器(qi)的(de)讀(du)數(shu)。一(yi)個(ge)好(hao)的(de)電(dian)子(zi)羅(luo)盤(pan)的(de)設(she)計(ji)將(jiang)采(cai)用(yong)這(zhe)兩(liang)種(zhong)傳(chuan)感(gan)器(qi)。而(er)更(geng)好(hao)的(de)係(xi)統(tong)將(jiang)把(ba)這(zhe)些(xie)傳(chuan)感(gan)器(qi)集(ji)成(cheng)在(zai)同(tong)一(yi)個(ge)封(feng)裝(zhuang)中(zhong)
，從(cong)而(er)產(chan)生(sheng)更(geng)小(xiao)的(de)傳(chuan)感(gan)器(qi)。例(li)如(ru)
，飛(fei)思(si)卡(ka)爾(er)XtrinsicFXOS8700CQ在3x3x1.2-mm的封裝中集成了帶有傾斜補償的地磁場測量，提供了一種簡單的方法將x/y方向集成到任何機器人係統中。

 

又如：無法利用GPS信號的室內定位係統采用WiFi基站三角測量法，在商場或機場內定位用戶的智能手機。該係統的精度可通過添加極小的高度傳感器（如飛思卡爾XtrinsicMPL3115）得以增強。憑借約30厘米（1英尺）dexiangduigaodufenbianlv
，cichuanganqinenggouqingsongdijiancedaoshoujizaidalouneixiangloushanghaishilouxiayidong。zhegejiandandexinxiduiyujianhuahuoyanzhengfuzadesanjiaoceliangsuanfafeichangyouyong。kanshoushiwaisheshidejiankongjiqirenhaixuyaolejietashixiangshanshanghaishishanxiayundong，zheduijiqirendesuduhegonghaodouyouyingxiang，yeshijisuanqizizhuchixushijianxuyaokaolvdezhongyaoshuju。

 

采cai用yong高gao度du計ji實shi施shi的de另ling一yi個ge傳chuan感gan器qi融rong合he功gong能neng是shi衝chong擊ji檢jian測ce。在zai倉cang庫ku地di麵mian或huo醫yi院yuan大da廳ting四si處chu移yi動dong的de自zi主zhu機ji器qi人ren的de設she計ji應ying避bi免mian撞zhuang到dao人ren或huo物wu體ti

，但dan如ru果guo發fa生sheng碰peng撞zhuang
，機ji器qi人ren必bi須xu能neng夠gou檢jian測ce到dao碰peng撞zhuang。可ke對dui加jia速su度du傳chuan感gan器qi進jin行xing編bian程cheng，使shi之zhi根gen據ju特te定ding“碰撞”標記檢測震動，但這並非萬無一失。在機器人周圍添加了耦合了氣動帶的壓力傳感器後，此係統擁有兩個不同的傳感信息源，可提高“碰撞事件”檢測的精度。

 

 

圖像識別是另一項偉大技術

，可幫助自主機器人導航並避開障礙物。當今的視覺係統可識別形狀、物體、甚至人臉。一種移動中的機器人希望創建其周圍環境的實時3D地圖，以確定任何可能的障礙。

 

隻要能見度和光照條件足以使圖像傳感器捕捉足夠的相關數據，照相機就能正常工作。但在室外條件下
，視覺係統功能可能會受到雪、霧或其它天氣條件的限製。雷達傳感技術雖然不基於MEMS
，danrengranshishidangdechuanganqironghezengbu。jiangshipintuxiangchulixinxiyujulihesuduleidashujuxiangjiehe，kebangzhuzhinengdaohangsuanfajisuanchugengjingquedeshuju，binggenghaodigoujianjiqirenzhouweihuanjingde3D地圖。

 

雷達係統主要為自動應用而設計
，也可輕鬆應用於其它係統。它們在77-GHz頻pin段duan上shang運yun行xing
，並bing提ti供gong非fei常chang精jing確que的de距ju離li和he速su度du信xin息xi，從cong幾ji百bai米mi的de距ju離li到dao非fei常chang近jin的de距ju離li。傳chuan統tong的de係xi統tong采cai用yong分fen立li式shi射she頻pin電dian路lu和he帶dai有you旋xuan轉zhuan天tian線xian的de射she頻pin模mo塊kuai
，以yi提ti供gong3D映像信息。

 

然而
，借助150GHz過渡頻率（fT）的超高速晶體管的高性能矽鍺（SiGe）工(gong)藝(yi)，分(fen)立(li)式(shi)射(she)頻(pin)功(gong)能(neng)可(ke)以(yi)整(zheng)合(he)到(dao)芯(xin)片(pian)上(shang)。這(zhe)能(neng)夠(gou)實(shi)現(xian)經(jing)濟(ji)高(gao)效(xiao)的(de)多(duo)頻(pin)段(duan)射(she)頻(pin)芯(xin)片(pian)組(zu)解(jie)決(jue)方(fang)案(an)的(de)設(she)計(ji)，支(zhi)持(chi)多(duo)信(xin)道(dao)接(jie)線(xian)天(tian)線(xian)，不(bu)再(zai)需(xu)要(yao)旋(xuan)轉(zhuan)天(tian)線(xian)。高(gao)性(xing)能(neng)射(she)頻(pin)工(gong)藝(yi)、設計專業知識
，再加上數字波束賦形技術和信號處理算法，使雷達係統能夠滿足高容量汽車和機器人應用的尺寸和成本要求。