圖題：高精度的醫療器械應用要求MEMS壓力傳感器

原則上來講，設計一個小型的壓力傳感器是很簡單的：一yi個ge壓ya力li變bian形xing隔ge膜mo嵌qian入ru一yi個ge壓ya敏min電dian阻zu器qi就jiu可ke以yi了le，這zhe個ge壓ya敏min電dian阻zu器qi必bi須xu是shi由you矽gui納na米mi線xian等deng會hui由you壓ya力li引yin起qi抗kang電dian阻zu性xing變bian化hua的de材cai料liao製zhi成cheng。但dan事shi實shi上shang卻que會hui出chu現xian問wen題ti

，包bao括kuo電dian路lu設she計ji和he和he脆cui弱ruo的de組zu件jian，任ren何he地di方fang出chu現xian差cha錯cuo都dou是shi商shang用yong傳chuan感gan器qi的de致zhi命ming傷shang。

youyuzhegegemobixujianghenxiaodeyalibianhuachuandaodaoyamindianzuqi，tongshiyaodikangbianxingheposun
，yinci，zhegegemocailiaodexuanzejiuxiandezhiguanzhongyao。yushiluohetadetongshimenxiangdaoyongeryanghuaguilaizhanxianwanmeideyalichuanganxingneng。raner，eryanghuaguisuiyouyouyuedechuanganxingneng，danyebunengzhanshengyiwanquxingzhegeruodian。suoyi，luojiangjiejuefangangaiweiyongshuangcengdeeryanghuagui，tongshijiangyazushideguinamixianfangzailiangzhezhongjian，dingcengzaijiayicengxingnengwendingdedanhuagui。

通過蝕刻氮化矽和變化厚度、調(tiao)整(zheng)矽(gui)納(na)米(mi)線(xian)，這(zhe)個(ge)團(tuan)隊(dui)最(zui)終(zhong)發(fa)現(xian)了(le)最(zui)優(you)的(de)組(zu)合(he)。最(zui)後(hou)的(de)傳(chuan)感(gan)器(qi)成(cheng)功(gong)地(di)滿(man)足(zu)了(le)抵(di)抗(kang)變(bian)形(xing)和(he)機(ji)械(xie)損(sun)壞(huai)的(de)同(tong)時(shi)仍(reng)然(ran)可(ke)以(yi)提(ti)供(gong)在(zai)壓(ya)力(li)感(gan)應(ying)下(xia)電(dian)輸(shu)出(chu)的(de)線(xian)性(xing)變(bian)化(hua)，符(fu)合(he)高(gao)精(jing)度(du)的(de)醫(yi)療(liao)器(qi)械(xie)應(ying)用(yong)要(yao)求(qiu)。

這個團隊的主要目標是製造出一種可植入的微型醫療設備
，盡管要實現這一目標還需要依靠廣泛的電路研究和測試。