在zai犧xi牲sheng層ceng結jie構gou的de薄bo結jie構gou上shang，如ru果guo采cai用yong擴kuo散san矽gui或huo多duo晶jing矽gui薄bo膜mo作zuo為wei犧xi牲sheng層ceng結jie構gou壓ya力li傳chuan感gan器qi的de應ying變bian電dian阻zu，其qi厚hou度du相xiang對dui較jiao大da，對dui彈dan性xing膜mo片pian應ying力li分fen布bu影ying響xiang很hen大da

，不bu利li於yu犧xi牲sheng層ceng結jie構gou壓ya力li傳chuan感gan器qi的de性xing能neng優you化hua
，因yin此ci采cai用yong多duo晶jing矽gui納na米mi薄bo膜mo製zhi作zuo應ying變bian電dian阻zu更geng能neng發fa揮hui犧xi牲sheng層ceng技ji術shu的de優you點dian。

在這之前，壓力傳感器設計過載保護時，一般采用凸台等方法實現，形成方法有背部刻蝕技術、矽直接鍵合技術、玻bo璃li刻ke蝕shi技ji術shu等deng。然ran而er這zhe些xie結jie構gou的de腔qiang體ti尺chi寸cun較jiao大da，進jin一yi步bu提ti高gao傳chuan感gan器qi的de靈ling敏min度du受shou到dao限xian製zhi
，而er且qie降jiang低di了le矽gui片pian利li用yong率lv
，增zeng加jia了le製zhi造zao工gong藝yi的de複fu雜za度du，提ti高gao了le生sheng產chan成cheng本ben。

現(xian)在(zai)
，壓(ya)力(li)傳(chuan)感(gan)器(qi)的(de)應(ying)變(bian)電(dian)阻(zu)是(shi)在(zai)單(dan)晶(jing)矽(gui)片(pian)上(shang)擴(kuo)散(san)或(huo)注(zhu)入(ru)雜(za)質(zhi)的(de)方(fang)式(shi)實(shi)現(xian)

，為(wei)了(le)改(gai)善(shan)溫(wen)度(du)特(te)性(xing)，後(hou)來(lai)也(ye)采(cai)用(yong)了(le)多(duo)晶(jing)矽(gui)薄(bo)膜(mo)

，但(dan)普(pu)通(tong)多(duo)晶(jing)矽(gui)薄(bo)膜(mo)的(de)應(ying)變(bian)因(yin)子(zi)較(jiao)小(xiao)，不(bu)利(li)於(yu)提(ti)高(gao)靈(ling)敏(min)度(du)。最(zui)新(xin)研(yan)究(jiu)結(jie)果(guo)表(biao)明(ming)，多(duo)晶(jing)矽(gui)納(na)米(mi)薄(bo)膜(mo)具(ju)有(you)顯(xian)著(zhu)的(de)隧(sui)道(dao)壓(ya)阻(zu)效(xiao)應(ying)，表(biao)現(xian)出(chu)比(bi)常(chang)規(gui)多(duo)晶(jing)矽(gui)薄(bo)膜(mo)更(geng)優(you)越(yue)的(de)壓(ya)阻(zu)特(te)性(xing)
，重(zhong)摻(chan)雜(za)條(tiao)件(jian)下(xia)其(qi)應(ying)變(bian)因(yin)子(zi)仍(reng)可(ke)達(da)到(dao)34，具有負應變因子溫度係數，數值小於1×10-3/℃
，電阻溫度係數可小於2×10-4/℃。

在(zai)表(biao)麵(mian)微(wei)加(jia)工(gong)中(zhong)，由(you)澱(dian)積(ji)到(dao)襯(chen)底(di)和(he)犧(xi)牲(sheng)層(ceng)上(shang)的(de)薄(bo)膜(mo)作(zuo)為(wei)結(jie)構(gou)層(ceng)，對(dui)微(wei)小(xiao)結(jie)構(gou)的(de)尺(chi)寸(cun)更(geng)易(yi)控(kong)製(zhi)，器(qi)件(jian)的(de)尺(chi)寸(cun)得(de)以(yi)減(jian)小(xiao)。然(ran)而(er)
，這(zhe)些(xie)結(jie)構(gou)層(ceng)的(de)機(ji)械(xie)性(xing)能(neng)高(gao)度(du)依(yi)賴(lai)於(yu)澱(dian)積(ji)和(he)隨(sui)後(hou)的(de)加(jia)工(gong)過(guo)程(cheng)，相(xiang)對(dui)低(di)的(de)澱(dian)積(ji)速(su)率(lv)雖(sui)然(ran)限(xian)製(zhi)了(le)所(suo)製(zhi)作(zuo)器(qi)件(jian)的(de)厚(hou)度(du)
，但(dan)是(shi)由(you)於(yu)結(jie)構(gou)層(ceng)厚(hou)度(du)低(di)，所(suo)以(yi)能(neng)製(zhi)作(zuo)出(chu)量(liang)程(cheng)更(geng)小(xiao)
、靈敏度更高的壓力傳感器。

因yin此ci，在zai犧xi牲sheng層ceng結jie構gou壓ya力li傳chuan感gan器qi上shang，采cai用yong多duo晶jing矽gui納na米mi薄bo膜mo作zuo應ying變bian電dian阻zu，可ke以yi提ti高gao靈ling敏min度du，擴kuo大da工gong作zuo溫wen度du範fan圍wei，降jiang低di溫wen度du漂piao移yi。然ran而er，犧xi牲sheng層ceng結jie構gou非fei常chang薄bo，如ru何he提ti高gao傳chuan感gan器qi的de過guo載zai能neng力li顯xian得de尤you為wei重zhong要yao。所suo以yi，如ru何he在zai保bao證zheng傳chuan感gan器qi滿man量liang程cheng範fan圍wei內nei線xian性xing響xiang應ying的de前qian提ti下xia，調tiao整zheng犧xi牲sheng層ceng厚hou度du
，通tong過guo彈dan性xing膜mo片pian與yu襯chen底di的de適shi當dang接jie觸chu來lai有you效xiao提ti高gao傳chuan感gan器qi的de過guo載zai能neng力li。改gai善shan工gong藝yi解jie決jue泄xie漏lou問wen題ti後hou，犧xi牲sheng層ceng結jie構gou多duo晶jing矽gui納na米mi膜mo壓ya力li傳chuan感gan器qi的de性xing能neng應ying該gai能neng滿man足zu設she計ji要yao求qiu。