MEMS完全不同於主要利用矽的電性質的半導體芯片。MEMS的核心部件沒有柵-漏-源三極，而是一個完全由矽製成的微型機械結構。一個典型的MEMS結構包括質量矩滑塊、彈簧和阻尼器，工作原理與質量彈簧模型基本相同。

MEMS傳感器可以給手機、MP3/MP4 播放器、PDA或遊戲機控製器上增加一個直觀的人機界麵，使人的動作與安裝MEMS傳感器的設備實現互動。

在洗衣機或幹衣機等家電設備中，MEMS加速計還能充當振動檢測器，當機器內的負荷失衡時，洗衣機就會報警通知用戶，以防機器在出現故障前被過早的磨損。

圖1：單軸和雙軸加速度計被廣泛用於汽車被動安全係統

danzhouheshuangzhoujiasudujibeiguangfanyongyuqichebeidonganquanxitong
，ruzhengmiananquanqinanghecemiananquanqinang。jiasudujihetuoluoyihaibeiyongyudaohangxitonghezhudonganquanxitong，ruABS製動係統和車輪動態穩定控製係統。

前幾年
，MEMS傳感器出現“消費電子化”趨勢。MEMS傳感器開始滲透到消費電子市場，用於解決各種應用問題。

消費電子廠家在尋找微型、低廉、低壓、低功耗的MEMS傳感器。纖薄設計是手機
、MP3和MP4播放器以及便攜PC機(ji)等(deng)電(dian)池(chi)供(gong)電(dian)產(chan)品(pin)的(de)發(fa)展(zhan)趨(qu)勢(shi)。而(er)且(qie)，多(duo)軸(zhou)傳(chuan)感(gan)器(qi)已(yi)成(cheng)為(wei)消(xiao)費(fei)電(dian)子(zi)設(she)備(bei)的(de)必(bi)備(bei)配(pei)置(zhi)，讓(rang)消(xiao)費(fei)者(zhe)能(neng)夠(gou)從(cong)任(ren)何(he)物(wu)理(li)位(wei)置(zhi)激(ji)活(huo)任(ren)何(he)功(gong)能(neng)。在(zai)便(bian)攜(xie)產(chan)品(pin)中(zhong)，還(hai)沒(mei)有(you)固(gu)定(ding)的(de)MEMS傳感器應用參考框架。

此外，消費電子產品的生命周期越來越短，因此產品設計人員要求MEMS能夠快速無縫地集成到最終應用中。

處於MEMS技術發展的最前沿的意法半導體開始在一個封裝內整合多個傳感器：加速計
、陀螺儀、diciji
，zhegejiejuefanganketishengbaokuoyundongjiancezaineidegezhongyingyongdegongnengxinghexingneng。jichengchuanganqikeshixianzizhuxitonghezidonghuaxitong，jiancetedingtiaojianbingjiangqizhuanhuachengcaozuo，wuxuhuozhixuyonghuhenxiaochengdudejieru。

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在手機
、遊戲機、個人導航係統等便攜移動設備內，一個能夠精確測量三個正交軸向的角速率的傳感器可實現360°角速率檢測
，高精度識別3D手勢和動作。此外，一個3軸加速度計配合一個陀螺儀，可讓設計人員研發慣性測量單元，跟蹤人體

、汽車和其它物體的運動類型
、速度和方向並提供相關的完整信息。

圖2：精確測量三個正交軸向的角速率的傳感器應用於便攜移動設備內

意法半導體的加速計內置很多增強型功能
，包括單擊和雙擊識別、動作檢測/喚醒以及4D/6D方向檢測。其它重要特性包括一個可編程的FIFO (先入先出)緩存和兩個可編程中斷信號輸出引腳

，以便向主處理器立即通知動作檢測
、單擊/雙擊事件等條件。

圖3：在手機內集成羅盤模塊提供先進的位置相關服務

在手機內集成羅盤模塊提供先進的位置相關服務在手機市場引發一場應用革命。有了羅盤和GPS功能後，消費者隻要把手機指向附近服務設施
，如酒店或商場，就能夠識別和搜索相關目標的信息。

把ba運yun動dong檢jian測ce與yu磁ci力li感gan應ying功gong能neng結jie合he在zai一yi起qi，可ke在zai多duo方fang麵mian提ti高gao移yi動dong用yong戶hu的de使shi用yong體ti驗yan。應ying用yong程cheng序xu開kai發fa人ren能neng夠gou很hen好hao地di解jie決jue在zai顯xian示shi屏ping尺chi寸cun有you限xian的de手shou機ji或huoPDA上查看地圖的問題，他們把用戶當前位置放在地圖的底端
，顯示屏其餘部分則顯示前進方向（正上方），用戶能夠獲取準確的前進信息。當沒有GPS信號時，可指示一個人或汽車正在行進的方向。這個解決方案還支持航位推測應用程序
，包括在GPS信號沒有或很弱的地方步行導航
，例如，在高樓大廈內或森林茂密的山區環境行走時。

意法半導體在LSM303DLH模塊內整合了一個3軸數字加速度計和一個3軸數字地磁計。這款數字羅盤兼備高精度、小尺寸
、低di功gong耗hao等deng多duo項xiang優you點dian

，能neng夠gou滿man足zu市shi場chang對dui先xian進jin導dao航hang功gong能neng以yi及ji新xin興xing的de智zhi能neng定ding位wei服fu務wu的de日ri益yi增zeng長chang的de需xu求qiu。意yi法fa半ban導dao體ti的de高gao性xing能neng係xi統tong級ji封feng裝zhuang的de數shu字zi羅luo盤pan采cai用yong霍huo尼ni韋wei爾er公gong司si的de磁ci阻zu技ji術shu

，以yi促cu進jin增zeng強qiang型xing電dian子zi羅luo盤pan功gong能neng在zai便bian攜xie消xiao費fei電dian子zi設she備bei中zhong的de應ying用yong，羅luo盤pan功gong能neng包bao括kuo方fang位wei查zha找zhao
、地圖/顯示方位
、定位服務和步行方位推測。該產品的線性加速度測量範圍是 ±2/±4/±8g
，磁場強度測量範圍從±1.3 到±8高斯
，這兩個量程可由用戶任意選擇。

很多技術專家和商業專家認為無線傳感器網絡、家庭機器人
、智能藥片和片上實驗室是MEMS傳感器的下一次商業機會。例如，用於個性化藥物研發目的的片上實驗室和5節點無線壓力傳感器網絡組成的胎壓監測係統。

意法半導體的MEMS專家目前正在傾力研發智能傳感器。‘智能傳感器’在一個封裝內整合MEMS器件和處理器，無需主處理器介入即可獨立運行傳感器算法，從而能夠降低係統級功耗
，這對耗電量極大的手持設備具有重要意義。