MEMS陀螺儀目前廣泛用在數字相機的電子防震設計
、筆記型計算機的硬盤防摔落動態保護、3D空間鼠標、數字電子羅盤、汽車的電子穩定控製(Electronic Stabilty Program；ESC/ESP)等係統設計之中
，或是搭配自動控製係統
、機器人控製手臂之動態平衡設計方案中。

有趣的是

，目前多數以加速度計搭配陀螺儀通常經過整合設計、來建構可進行動態追蹤與捕捉3D空間的完整運動軌跡，而取得3D動態軌跡後，除可實時產生定位數據供用戶搭配係統操控的人機接口應用外，也可以提供更高精細度的動態數據，讓體感控製、動態感測的反饋操控表現更為細致

，讓係統提供更具現場感受的用戶使用體驗。
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以現有的陀螺儀MEMS組件為例，MEMS陀螺儀(Gyroscope)又名角速度計，其實MEMS陀(tuo)螺(luo)儀(yi)的(de)核(he)心(xin)組(zu)件(jian)，是(shi)一(yi)組(zu)經(jing)過(guo)矽(gui)製(zhi)程(cheng)的(de)微(wei)加(jia)工(gong)機(ji)械(xie)組(zu)合(he)
，在(zai)矽(gui)結(jie)構(gou)設(she)計(ji)上(shang)為(wei)參(can)照(zhao)一(yi)組(zu)如(ru)同(tong)音(yin)叉(cha)機(ji)製(zhi)的(de)運(yun)轉(zhuan)結(jie)構(gou)，其(qi)應(ying)用(yong)裝(zhuang)置(zhi)的(de)角(jiao)速(su)度(du)感(gan)測(ce)，其(qi)工(gong)作(zuo)原(yuan)理(li)為(wei)由(you)相(xiang)互(hu)正(zheng)交(jiao)之(zhi)振(zhen)動(dong)與(yu)轉(zhuan)動(dong)導(dao)致(zhi)的(de)交(jiao)變(bian)科(ke)裏(li)奧(ao)利(li)力(li)
，至(zhi)於(yu)振(zhen)動(dong)的(de)物(wu)體(ti)由(you)柔(rou)軟(ruan)之(zhi)彈(dan)性(xing)結(jie)構(gou)懸(xuan)掛(gua)於(yu)基(ji)座(zuo)上(shang)，MEMS陀螺儀整體動力學係統
，是由2D彈(dan)性(xing)阻(zu)尼(ni)係(xi)統(tong)整(zheng)合(he)
，係(xi)統(tong)中(zhong)的(de)振(zhen)動(dong)和(he)轉(zhuan)動(dong)所(suo)產(chan)生(sheng)的(de)科(ke)裏(li)奧(ao)利(li)力(li)將(jiang)角(jiao)速(su)度(du)之(zhi)能(neng)量(liang)轉(zhuan)移(yi)至(zhi)傳(chuan)感(gan)模(mo)式(shi)

，角(jiao)速(su)率(lv)轉(zhuan)換(huan)為(wei)特(te)定(ding)感(gan)應(ying)結(jie)構(gou)的(de)直(zhi)向(xiang)位(wei)移(yi)，透(tou)過(guo)MEMS的結構進而取得變化量的感測信息。

至於陀螺儀與加速計最大的不同是
，陀螺儀的量測數據比較偏向斜度
、偏航等動態信息，反而與重力、線xian性xing動dong作zuo感gan測ce數shu據ju無wu關guan，陀tuo螺luo儀yi多duo在zai偵zhen測ce物wu體ti水shui平ping改gai變bian狀zhuang態tai時shi較jiao能neng達da到dao效xiao用yong，無wu法fa如ru加jia速su度du計ji對dui於yu物wu體ti移yi動dong或huo移yi動dong動dong能neng具ju較jiao高gao的de感gan測ce能neng力li。相xiang反fan的de，加jia速su度du計ji可ke在zai偵zhen測ce物wu體ti移yi動dong狀zhuang態tai具ju較jiao高gao實shi用yong效xiao益yi，但dan卻que無wu法fa感gan測ce物wu體ti的de小xiao幅fu角jiao度du改gai變bian。因yin而er將jiang加jia速su度du計ji與yu陀tuo螺luo儀yi整zheng合he，即ji可ke讓rang動dong態tai感gan測ce係xi統tong同tong時shi具ju備bei直zhi向xiang速su度du與yu轉zhuan動dong數shu據ju的de感gan測ce信xin息xi，讓rang動dong態tai感gan測ce係xi統tong的de偵zhen測ce範fan圍wei更geng全quan麵mian、完整。

在MEMS的節能設計方麵，在係統毋須使用動態感測應用時
，MEMS可以搭配關閉部分功能達到高效節能效用。例如，在陀螺儀設計方案中，可將陀螺儀的傳遞訊號與調節電路區分為馬達驅動部份、加速傳感器感應電路兩大部份，馬達驅動部份為利用靜電驅動的原理令機械組件產生前／houzhendang，chanshengganceguochengsuoxudexiezhenzuoyong，zhiyuganyingbufenweiliyongliangcexitongdianrongbianhualiang，laiqudekeliaolilideshuzhibianhua
，yuduiyingganyingzhidianshangsuoshengchengdeweiruoweiyishuju
，jiangjiaosulvbianhualiang，zhuanhuanchengduibijiaosudubianhualiangzhiduiyingmonixunhao(或數字訊號)輸出。