產品特性：

• 壓電電阻式
• 低成本
• 減小芯片麵積
• 低價格

應用範圍：

• 可用於血壓計

三美電機在“MITSUMI SHOW 2010”上展出了可用於血壓計的壓電電阻式壓力傳感器。血壓計的壓力傳感器，其低價格化已經進展到了相當的程度，目前的模塊價格不到100日元。作為涉及該業務較晚的公司，三美電機是將芯片麵積由原有產品的約2mm見方降至1.4mm見方來降低成本的。


該公司為了減小壓力傳感器的芯片麵積，采用了高速矽深度蝕刻（Deep RIE：Deep Reactive Ion Etching，深度反應離子蝕刻）裝置。通過日本千歲業務所（北海道）的150mm晶圓生產線製造。

采用Deep RIE可以減小芯片麵積的理由是
，幾乎可以垂直對矽進行深度蝕刻。能夠垂直形成在壓力檢測用隔（Diaphragm）xiamianxingchengdekongdongjiemianjiegou。eryibanqingkuangxiashitongguoliyongguibiaomianjiejinggexiangyixingdeshishishikeshizaiqingxiefangxiangshangjinxingshendushikede，kongdongdejiemianxingzhuanghuixingchenggemocebianchangjiaoduandetixing。youyubixuyaokuankuodishejizuoweishikejidiandexinpiandibianmianji
，yincinanyijianxiaoxinpianmianji。