產品特點：

• 非晶氧化物半導體的TFT試製出了全高清液晶麵板

台灣友達光電（AU OptronicsAUO）用基於透明非晶氧化物半導體（TAOS）的TFT（TAOS-TFT）試製出了全高清（1920×1080像素）37英寸液晶麵板。TAOS-TFT液晶麵板開發事例此前最大尺寸止步於20英寸以下，此次一舉實現了大尺寸化。AUO預定在2010年5月於美國舉辦的“Society for Information Display 2010（SID 2010）”上展出試製品。

試製麵板使用的TAOS-TFT，是將源電極和漏電極設在溝道側麵的同一平麵（coplanar）型
，溝道材料為非晶IGZO（In-Ga-Zn-O）。AUO在演講中出示的TAOS-TFT試製結果顯示
，以柵極寬度和長度分別為22μm和5μm的元件
，實現了載流子遷移率10～13cm2/Vs
，開/關比108以上的良好特性。即便是經常碰到的TAOS-TFT元件特性不穩定問題，也通過在IGZO成膜後實施N2O等離子處理以及改善鈍化方法等使其得到了控製。