蘇州敏芯推出MEMS壓力傳感器芯片
發布時間:2009-12-30 來源:電子元件技術網
產品特性:
繼推出矽基MEMS麥克風芯片後,蘇州敏芯微電子技術有限公司(MEMSensing Microsystems Co., Ltd.)日前又推出了1.4mm×1.4mm×0.7mm外形尺寸MEMS絕對壓力傳感器芯片,主要針對量程為15PSI的高度表市場,並已開始提供樣品。
據敏芯微電子介紹,其MEMS壓力傳感器芯片典型滿量程輸出範圍為100kPa,在加載電壓5V的情況下,滿量程靈敏度為100mV,橋臂電阻典型值為5k歐姆,零位輸出在+-30mV之間,靈敏度溫度係數為-19%FS/100度。敏芯微電子稱,其在國內率先獨家推出的MEMS絕對壓力傳感器芯片,可同時兼容開環和閉環橋臂兩種應用,極大方便了客戶使用。
目前,敏芯微電子可以芯片或晶圓的形式向客戶供貨,初期將供應基於4寸晶圓的芯片,外形尺寸為1.4mm×1.4mm×0.7mm之版本。今後,為滿足部分客戶對芯片超薄尺寸的要求,也將提供芯片外形尺寸為1.4mm×1.4mm×0.5mm之版本。
敏芯微電子還將陸續推出其它量程的產品來滿足不同客戶之需求,預計將於2010年初提供滿量程範圍為100PSI及300PSI之產品,此係列之產品將進一步縮小芯片體積,設計外形尺寸為1.1mm*1.1mm*0.7mm。同時,公司也可根據客戶需求來定製MEMS壓力傳感器芯片,來滿足某些特種需求。
- 滿量程輸出範圍為100kPa
- 可同時兼容開環和閉環橋臂兩種應用
- 量程為15PSI的高度表
繼推出矽基MEMS麥克風芯片後,蘇州敏芯微電子技術有限公司(MEMSensing Microsystems Co., Ltd.)日前又推出了1.4mm×1.4mm×0.7mm外形尺寸MEMS絕對壓力傳感器芯片,主要針對量程為15PSI的高度表市場,並已開始提供樣品。
據敏芯微電子介紹,其MEMS壓力傳感器芯片典型滿量程輸出範圍為100kPa,在加載電壓5V的情況下,滿量程靈敏度為100mV,橋臂電阻典型值為5k歐姆,零位輸出在+-30mV之間,靈敏度溫度係數為-19%FS/100度。敏芯微電子稱,其在國內率先獨家推出的MEMS絕對壓力傳感器芯片,可同時兼容開環和閉環橋臂兩種應用,極大方便了客戶使用。
目前,敏芯微電子可以芯片或晶圓的形式向客戶供貨,初期將供應基於4寸晶圓的芯片,外形尺寸為1.4mm×1.4mm×0.7mm之版本。今後,為滿足部分客戶對芯片超薄尺寸的要求,也將提供芯片外形尺寸為1.4mm×1.4mm×0.5mm之版本。
敏芯微電子還將陸續推出其它量程的產品來滿足不同客戶之需求,預計將於2010年初提供滿量程範圍為100PSI及300PSI之產品,此係列之產品將進一步縮小芯片體積,設計外形尺寸為1.1mm*1.1mm*0.7mm。同時,公司也可根據客戶需求來定製MEMS壓力傳感器芯片,來滿足某些特種需求。
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