產品特性：

• 是一係列非接觸電容式間隙和平行度傳感器係統 
• 塗布機間隙一致性優於0.25um
  ，在整個塗布模長度範圍內間隙小到110um
• 測量工藝過程中CVD塗鍍頭和金屬載體輥筒間的間距，溫度可達600°C

適用範圍：

• 太陽能麵板市場
• 矽層上CVD法沉積薄膜的過程中，以及處理額外層和玻璃麵板與反射背板間光伏組件的密封

Capacitec Inc. (馬薩諸塞州Ayer) 首次麵向太陽能麵板市場推出了一係列非接觸電容式間隙和平行度傳感器係統。這些係統測量太陽能麵板生產過程中液體

、抗反射塗層和CVD（化學氣相沉積）層塗鍍頭到媒介間的精確距離
，能幫助製造商保持薄膜鍍層一致性

，提高成品率和效率。

Capacitec是太陽能市場的新進者，該公司在為半導體製造設備提供測量技術和為OEM及終端用戶設計狹縫口模塗布機的窄隙測量係統上擁有超過15年的經驗。借助其在液體塗布市場的產品，Capacitec開發了這些係統，獲得塗布機間隙一致性優於0.25um，在整個塗布模長度範圍內間隙小到110um。

在薄膜光伏麵板製造中

，Capacitec的係統用於在矽層上CVD法沉積薄膜的過程中
，以及處理額外層和玻璃麵板與反射背板間光伏組件的密封。

在柔性太陽能麵板中，CVD塗布機用於透明導電氧化物（TCO）的生產中。平行度傳感器係統用來測量工藝過程中CVD塗鍍頭和金屬載體輥筒間的間距，溫度可達600°C。