中心論點：

• 如今國內MEMS產業化仍然不夠成熟
• MEMS加工方麵與國外存在著較大差距
• MEMS量產起來仍然困難

• 與其擱置4寸生產線不如將其改造為MEMS生產線
• MEMS廠商在整體方案提供上也應繼續加強

上海傳感器協會秘書長顏重光，作為中國最早做傳感器的專家之一，近日表示如今國內MEMS產業化仍然不夠成熟，尤其是加工方麵與國外存在著較大差距。

顏重光指出
，MEMS與(yu)機(ji)械(xie)類(lei)傳(chuan)感(gan)器(qi)相(xiang)比(bi)
，精(jing)度(du)相(xiang)對(dui)差(cha)一(yi)些(xie)，主(zhu)要(yao)是(shi)由(you)於(yu)半(ban)導(dao)體(ti)自(zi)身(shen)的(de)溫(wen)度(du)特(te)性(xing)有(you)關(guan)，但(dan)如(ru)果(guo)與(yu)單(dan)片(pian)機(ji)配(pei)合(he)進(jin)行(xing)漂(piao)移(yi)補(bu)償(chang)，可(ke)以(yi)相(xiang)應(ying)的(de)增(zeng)加(jia)精(jing)度(du)。並(bing)且(qie)由(you)於(yu)MEMS產品可以大批量生產
，成本比較低因此非常適合消費類產品的應用。

但其同時談到，盡管伴隨著MEMS應用增加，出貨量成倍增長，量產起來仍然困難。主要原因是MEMS的加工方式與普通芯片不同，芯片為單麵腐蝕而MEMS需要雙麵腐蝕

，因此需要增加相應的加工設備。

由於國內芯片加工工藝水平的不斷上升
，晶圓廠陸續上馬8寸、12寸生產線，此時4寸生產線麵臨著淘汰
，“與其擱置4寸生產線不如將其改造為MEMS生產線。”顏重光建議道。

在其最新的一篇文章中詳細分析了4寸生產線更新所需要的成本，可以看出轉產MEMS可以產生更多的利潤。不過顏重光表示，“實際上國內進行轉產的企業並不多。MEMS與集成電路是截然不同的市場，很多人無法轉變觀念。”

MEMS由於內部結構不一樣，因此需要多樣化加工方式，包括陀螺儀裏麵的齒輪、壓力傳感器的薄膜或者梁結構、加速度計中的質量塊或者氣泡等形式。因此這就給foundry廠帶來很大困難，很難有標準化工藝。盡管目前包括中芯國際等foundry都有MEMS代工業務，但也隻限於針對生產線準備有MEMS製造工藝清單。因此，目前企業仍然自己開發工藝後交給foundry進行生產。

此外
，顏重光還建議MEMS廠商在整體方案提供上也應繼續加強。