市場狀況：

• 2009年全球MEMS可能增長率小於1%
• 許多新的MEMS應用卻得到切實的增長

按Yole Developpement報道

，全球MEMS工業正麵臨之前從未有過的停滯，2008年的銷售額下降2%，達68億美元，其2009年非常可能增長率小於1%。然而當汽車電子，工業壓力傳感器及打印頭市場隨著全球經濟下滑時，許多新的MEMS應用卻得到切實的增長。

MEMS在消費類電子產品中，如加速度計，陀螺儀的市場繼續看好，推動供應商如STMicron(日內瓦)，Invensense(加州桑尼威爾)，其銷售額有10-30%增長。隨著MEMS在醫療電子和診斷設備的應用擴大
，其市場繼續增大。今年新的內窺測量產品(IMU)開始啟動。它集成了多軸加速度計和陀螺儀功能，不但尺寸小
，而且價格不到10美元，所以也推動了遊戲機
，照相機防震及指示儀等新的應用。

由於MEMS產品分散性大，與IC工業顯著下滑相比，MEMS工業仍是繼續健康的成長。Yole CEO說由於MEMS產品存在眾多的市場機會，相對全球MEMS市場看好。在全球MEMS市場達到68億美元情況下，僅隻有14家領先公司的銷售額超過1.5億美元，以及30家公司的銷售額大於2800萬美元。下圖為MEMS市場的預測：

全球MEMS設備市場的情況就不一樣，2008年銷售額僅2億美元，相比與2007年的3，3億美元。盡管全球的經濟狀況仍很難確定，但是2009年MEMS設備市場按最好情況估計，也隻能達到與2008年時水平相近。

MEMS設備的研發相對仍是健康。而部分專業的MEMS設備製造商由於為完成今年訂單而擴大產能。其中矽片鍵合設備和用於芯片堆疊封裝，TSV，圖象傳感器和納米印刷等其中的腐蝕設備正從半導體應用轉向MEMS，並逐漸成為主流。

MEMS有一種在手機中的應用正吸引眾多人的眼球
，叫WiSpry可調諧式數字電容器。它的優點可以減少載波電平的功耗和手機成本。該公司在今年四月又得到1000萬美元的資助資金，目前其產品正在某一手機製造商中進行驗證測試，並預計今年底可以量產。據Jeffery Hilbert總裁的看法，全球其餘的5家頂級手機製造商都有興趣導入此項技術，並正在進行相關設計及樣品的試製階段，另有兩家在評估之中。

該公司提出一種平行板電容器新結構，其中一塊板是由180納米CMOS工藝製成的，而將MEMS置於CMOS的上麵
，並且是可移動的，采用8英ying寸cun矽gui片pian工gong藝yi及ji矽gui片pian級ji封feng裝zhuang技ji術shu。然ran而er將jiang芯xin片pian與yu嵌qian入ru式shi被bei動dong元yuan件jian一yi起qi封feng裝zhuang在zai另ling一yi個ge封feng裝zhuang殼ke內nei。利li用yong這zhe些xie電dian容rong器qi的de開kai或huo關guan把ba它ta們men排pai列lie在zai一yi組zu陣zhen列lie中zhong可ke以yi實shi現xian各ge種zhong方fang式shi的de聯lian通tong
，包bao括kuo如ru天tian線xian
，放fang大da器qi及ji瀘lu波bo器qi等deng。其qi中zhong首shou位wei的de應ying用yong是shi可ke調tiao諧xie式shi天tian線xian，它ta利li用yong增zeng加jia或huo減jian少shao阻zu抗kang來lai調tiao正zheng手shou機ji的de功gong率lv，從cong而er實shi現xian手shou機ji的de功gong耗hao降jiang低di。下xia一yi步bu計ji劃hua是shi采cai用yong同tong樣yang結jie構gou用yong在zai更geng低di頻pin率lv及ji更geng小xiao的de天tian線xian之zhi中zhong。

Hilbert談(tan)到(dao)未(wei)來(lai)的(de)軟(ruan)件(jian)可(ke)調(tiao)式(shi)陣(zhen)列(lie)可(ke)能(neng)應(ying)用(yong)於(yu)許(xu)多(duo)不(bu)同(tong)產(chan)品(pin)中(zhong)。因(yin)為(wei)手(shou)機(ji)製(zhi)造(zao)商(shang)要(yao)滿(man)足(zu)不(bu)同(tong)國(guo)家(jia)的(de)各(ge)種(zhong)不(bu)同(tong)的(de)客(ke)戶(hu)指(zhi)定(ding)需(xu)求(qiu)產(chan)品(pin)，采(cai)用(yong)上(shang)述(shu)結(jie)構(gou)可(ke)以(yi)節(jie)省(sheng)材(cai)料(liao)費(fei)用(yong)以(yi)及(ji)加(jia)快(kuai)產(chan)品(pin)推(tui)向(xiang)市(shi)場(chang)。功(gong)耗(hao)降(jiang)低(di)可(ke)以(yi)轉(zhuan)換(huan)成(cheng)載(zai)波(bo)電(dian)平(ping)的(de)網(wang)絡(luo)效(xiao)率(lv)，能(neng)使(shi)用(yong)戶(hu)提(ti)高(gao)遠(yuan)離(li)基(ji)站(zhan)的(de)使(shi)用(yong)能(neng)力(li)及(ji)延(yan)長(chang)手(shou)機(ji)電(dian)池(chi)的(de)使(shi)用(yong)壽(shou)命(ming)。

另外
，MEMS在生化醫療的應用中也得到實際的增長，如美國Proteus Biomedical公司(在加州紅杉城)zhengbatadexitongyingyongyulinchuangyiliaozhong，taliyongchuanganqihezhinengkongzhijishulaijinxingfeijiehehexinzangbingdezhiliao
，shixianxinzangdelajiyushutong。qixiayibugengdajihuashizaixianyoudeyiliaojishuzhongzuozhirushiyingyong。

有項革命性的應用是植入式電極(implanted electrodes)，它能剌激心髒內不同腔體位置使它們進行同步或再同步心跳的治療。公司的核心技術在於釆用芯片級封裝技術
，將尺寸小於毫米的MEMS傳感器和處理器封裝係統放在人體的內部使用，而且可以維持好多年，來代替必須更多的插入導管來剌激心髒的不同位置。Proteus技術能在一根導管的兩條線上裝有16個(ge)電(dian)極(ji)，利(li)用(yong)起(qi)博(bo)器(qi)電(dian)源(yuan)能(neng)使(shi)傳(chuan)感(gan)器(qi)在(zai)心(xin)髒(zang)的(de)不(bu)同(tong)腔(qiang)體(ti)內(nei)移(yi)動(dong)
，並(bing)剌(la)激(ji)產(chan)生(sheng)合(he)適(shi)的(de)收(shou)縮(suo)壓(ya)力(li)

，最(zui)終(zhong)能(neng)將(jiang)訊(xun)息(xi)智(zhi)能(neng)化(hua)傳(chuan)出(chu)來(lai)。這(zhe)項(xiang)革(ge)命(ming)性(xing)的(de)創(chuang)新(xin)，把(ba)過(guo)去(qu)的(de)心(xin)髒(zang)撘(撘)橋(qiao)
，插(cha)入(ru)導(dao)管(guan)的(de)方(fang)法(fa)改(gai)変(変)成(cheng)可(ke)移(yi)動(dong)的(de)MEMS傳感器，可以大大降低手術的難度與風險，可以想象未來應用在腦的剌激或者脊椎骨壓迫的修複等應用中，有著極其廣闊的應用前景。

同樣未來的醫療服務也可能實現全程智能化。如醫療機構可以通過電話告訴患者服藥。Proteus已製造出矽基比毫米還小的傳感器，而這種傳感器可以與藥丸附在一起。當藥丸吞下遇到水時傳感器會自動打開，並能發出不是RF的de傳chuan導dao訊xun號hao。接jie受shou器qi可ke以yi用yong繃beng帶dai綁bang在zai皮pi膚fu表biao麵mian或huo者zhe皮pi下xia植zhi入ru
，以yi及ji象xiang一yi個ge起qi博bo器qi一yi樣yang，然ran後hou將jiang數shu據ju通tong過guo電dian話hua或huo者zhe計ji算suan機ji網wang絡luo傳chuan輸shu出chu去qu。這zhe樣yang的de病bing人ren就jiu可ke以yi在zai家jia中zhong，不bu必bi每mei天tian來lai到dao醫yi院yuan進jin行xing醫yi療liao診zhen斷duan。