HSPP係列:ALPS開發了絕對壓檢測用壓敏電阻式MEMS壓力傳感器
發布時間:2008-09-18
產品特性:
- 小型、低矮化
- 單個元件的小型型號和內置功率放大器的混合型兩種
- 產品穩定性好
應用範圍:
- 小型便攜式設備
ALPS開發了用於檢測氣壓或者高度的HSPP係列壓敏電阻式MEMS壓力傳感器(絕對壓檢測用),該產超小壓力傳感器樣品將從今年的10月起開始出售。
另外,本產品將參展9月30日起為期五天在幕張國際展覽中心(千葉縣千葉市)舉辦的《CEATEC JAPAN 2008》。
壓力傳感器不僅活躍在汽車、醫療、產業設備等領域,而且在洗衣機等消費電子產品領域上也得到廣泛應用,其應用範圍正在不斷擴大。如今,整機廠家正在研究在PND(便攜式導航裝置,Portable Navigation Device)及計步器上附加高度檢測功能,這種小型便攜式設備就需要搭載更小、更薄的壓力傳感器。
作為壓敏電阻式絕對壓檢測用壓力傳感器,本產品通過采用我公司多年積累下來的薄膜處理技術、微細加工技術及封裝技術,實現了小型、低矮化。單個元件的小型型號(HSPPAR)實現了長2.5mm x 進深2.5mm x 高0.7mm的尺寸,內置功率放大器的混合型(HSPPAA)實現了長3.5mm x 進深3.5mm x 高1.0mm的尺寸。
產品的上述兩種型號,有助於提高整機產品的設計自由度。而且,兩種型號的產品都適合表麵貼裝。
本(ben)產(chan)品(pin)進(jin)行(xing)壓(ya)力(li)檢(jian)測(ce)時(shi)采(cai)取(qu)將(jiang)電(dian)阻(zu)變(bian)化(hua)作(zuo)為(wei)電(dian)壓(ya)信(xin)號(hao)來(lai)讀(du)出(chu)的(de)方(fang)式(shi),來(lai)自(zi)外(wai)部(bu)的(de)壓(ya)力(li)使(shi)薄(bo)膜(mo)彎(wan)曲(qu)並(bing)使(shi)形(xing)成(cheng)於(yu)薄(bo)膜(mo)上(shang)的(de)壓(ya)敏(min)電(dian)阻(zu)元(yuan)件(jian)變(bian)形(xing),該(gai)變(bian)形(xing)產(chan)生(sheng)用(yong)於(yu)檢(jian)測(ce)的(de)上(shang)述(shu)電(dian)阻(zu)變(bian)化(hua)。這(zhe)種(zhong)方(fang)式(shi)將(jiang)薄(bo)膜(mo)的(de)彎(wan)曲(qu)量(liang)直(zhi)接(jie)當(dang)作(zuo)壓(ya)敏(min)電(dian)阻(zu)元(yuan)件(jian)的(de)電(dian)阻(zu)變(bian)化(hua)來(lai)捕(bu)獲(huo),因(yin)此(ci)可(ke)形(xing)成(cheng)簡(jian)單(dan)的(de)元(yuan)件(jian)結(jie)構(gou),而(er)適(shi)合(he)小(xiao)型(xing)化(hua)。另(ling)外(wai)還(hai)通(tong)過(guo)ALPS獨有的微細加工技術加工出極小的傳感元件,實現了產品的薄小型化。
還有,采取通過優化蝕刻條件形成穩定的空腔、抑製了外應力影響的Si-Si密封接合、采用不受溫度變化影響的陶瓷材料等等措施,使產品性能加以穩定。
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