隨著 5G 發展，相控陣天線被廣泛應用於高增益
、高效率、duoboshudetianxianxitong。zaixiangkongzhentianxiantongguoyixiangqikeyijiangfusheboshusaomiaodaobutongfangxiang。weiletigaoxiangkongzhenxitongdezhengtixingneng，youqishizaifashexindaozhong
，yaoqiuyixiangqijuyoudisunhao、寬帶、低功耗、體積小、功率處理能力強的特點。因此
，分布式 MEMS 傳輸線（DMTL）移相器被認為是滿足這些要求的潛在解決方案。

 

01. PART 

摘要

 

在本研究中
，我們開發了一個適用於相控陣天線係統的 DMTL 移相器。DMTL 移相器設計為在 2～4GHz 時產生兩態相移（0°和 90°）。該移相器有 15 個 MEMS 並聯開關
，通過在開關狀態下改變電容來控製移相。電容的這種變化將改變傳輸線的阻抗和傳輸速度，從而提供差分相移。

 

利用 HFSS 對移相器進行電磁性能仿真，主要優化阻抗匹配、插入損耗和相移三個關鍵參數。

 

MEMS 器件仿真設計難點之一是網格尺寸的確定，仿真的精度取決於網格的大小。在本設計中，用於 DMTL 移相器的 MEMS 電橋的尺寸為 372µm（長）×50µm（寬），如圖 1 所示。當 MEMS 橋向傳輸線的中心導體向下拉時，其電容增大。因此，準確地模擬出移相器在上、下(xia)狀(zhuang)態(tai)時(shi)的(de)電(dian)容(rong)值(zhi)
，對(dui)於(yu)保(bao)證(zheng)移(yi)相(xiang)器(qi)產(chan)生(sheng)準(zhun)確(que)的(de)相(xiang)移(yi)值(zhi)是(shi)非(fei)常(chang)重(zhong)要(yao)的(de)。為(wei)了(le)實(shi)現(xian)這(zhe)一(yi)點(dian)，在(zai)模(mo)型(xing)的(de)某(mou)些(xie)區(qu)域(yu)
，特(te)別(bie)是(shi)在(zai)橋(qiao)梁(liang)區(qu)域(yu)

，確(que)保(bao)網(wang)格(ge)劃(hua)分(fen)的(de)精(jing)細(xi)度(du)是(shi)獲(huo)得(de)準(zhun)確(que)仿(fang)真(zhen)結(jie)果(guo)的(de)關(guan)鍵(jian)。

 

對於三維電磁求解器（仿真軟件），網格劃分是一個非常關鍵的過程，有時需要用戶較深網格知識。利用 HFSS 中(zhong)提(ti)供(gong)的(de)自(zi)適(shi)應(ying)網(wang)格(ge)細(xi)化(hua)功(gong)能(neng)
，網(wang)格(ge)大(da)小(xiao)不(bu)必(bi)手(shou)動(dong)確(que)定(ding)，自(zi)適(shi)應(ying)網(wang)格(ge)劃(hua)分(fen)工(gong)具(ju)將(jiang)自(zi)動(dong)設(she)置(zhi)模(mo)型(xing)的(de)網(wang)格(ge)大(da)小(xiao)
，並(bing)逐(zhu)漸(jian)細(xi)化(hua)網(wang)格(ge)大(da)小(xiao)，直(zhi)到(dao)達(da)到(dao)某(mou)個(ge)準(zhun)則(ze)，從(cong)而(er)保(bao)證(zheng)仿(fang)真(zhen)的(de)精(jing)度(du)和(he)準(zhun)度(du)。