圖1：ASMI 中國業務開發總監徐來

 

事實上，在全球半導體設備行業中有兩家名稱中含有 ASM 的著名設備供應商
，分別是 ASMI 和 ASM PT，目前均為上市公司。這兩家公司由同一創始人成立，ASMI 和 ASMPT 目前是獨立運營的，ASMI 主攻前段工序，ASMPT 主攻後段工序。兩者唯一的關係在於 ASMI 是 ASMPT 最大的持股者，前者持有後者 25% 的股份。

 

ASMI 於 1968 年在荷蘭成立
，是全球前十大設備供應商之一。目前
，ASMI 在全球 7 個國家設有研發中心和生產基地，擁有 1900 名員工。而 ASMI 中zhong國guo總zong部bu位wei於yu上shang海hai，並bing在zai全quan國guo各ge地di設she有you服fu務wu和he支zhi持chi的de地di點dian，還hai有you麵mian向xiang先xian進jin技ji術shu研yan發fa的de本ben地di工gong藝yi工gong程cheng支zhi持chi。同tong時shi


，公gong司si也ye在zai本ben地di存cun儲chu零ling部bu件jian以yi保bao證zheng能neng快kuai速su服fu務wu客ke戶hu的de需xu求qiu。

 

 

據徐來介紹
，ASMI 最大的優勢就是 ALD 工藝
，同時 ASMI 也是全球市占率最高的 ALD 工藝設備供應商。據公開資料顯示，ALD 設備是先進集成電路製造工藝中必不可缺少的薄膜沉積設備
，ALD 工藝具有工藝溫度低

、薄膜厚度控製精確及台階覆蓋率高等優點。

 

目前，ASMI 和許多中國芯片製造商合作

，並已安裝了諸多設備，從低於 200mm 到 300mm 製造。麵向的應用有邏輯/代工廠
、存儲和模擬製造還有晶圓市場。在中國已用於生產的平台有原子層沉積（ALD）、增強等離子體化學氣象沉積（PECVD）、立式爐（Vertical Furnace）
、外延設備（Epitaxy）。

 

據悉，ASMI 不僅在韓國
，日本和美國設有研發中心，在比利時和芬蘭也分別設有研發中心。

同時，徐來表示，"我們與其他設備廠最大的差異在於：ASMI有自己的工藝集成中心（比利時）。當dang我wo們men在zai做zuo先xian進jin製zhi程cheng研yan究jiu時shi會hui發fa現xian一yi些xie應ying用yong，發fa現xian應ying用yong之zhi後hou便bian有you了le對dui相xiang關guan材cai料liao的de需xu求qiu，然ran後hou反fan饋kui給gei我wo們men在zai芬fen蘭lan的de材cai料liao研yan究jiu中zhong心xin，研yan究jiu出chu相xiang應ying的de材cai料liao支zhi持chi工gong藝yi。最zui後hou，反fan饋kui給gei事shi業ye部bu來lai根gen據ju要yao求qiu製zhi造zao設she備bei、提供給客戶，再根據客戶需求更新設備。"

 

 

根據 SEMI（國際半導體產業協會）於 2018 年 2 月 28 日公布的"全球晶圓廠預測報告"最新內容中指出，2019 年全球晶圓廠設備支出將增加 5%，連續第四年呈現大幅成長。除非原有計劃大幅變更
，中國大陸將是 2018
、2019 年全球晶圓廠設備支出成長的主要推手。

 

圖2：全球晶圓廠設備支出預測

 

SEMI 預測，2018 和 2019 年全球晶圓廠設備支出將以三星居冠
，但投資金額都不及 2017 年的高點。相較之下，為支持跨國與本土的晶圓廠計劃，2018 年中國大陸的晶圓廠設備支出較前一年將大幅增加 57%，2019 年更高達 60%。 中國大陸設備支出金額預計於 2019 年超越韓國，成為全球支出最高的地區。

 

"正是因為看到中國市場強勁的增長表現，ASMI 從去年開始做了很多改變，加強了市場拓展和客戶服務。"徐來表示，"實際上，ASMI 進入中國已經 20 年
，目前為止在中國的裝機容量約為 200 台，涵蓋了中國所有的客戶。現在重慶、徐州、廣州、青島等地都有新的客戶增加，所以相應的團隊也要不停的擴充。"

 

徐來認為

，"ASMI yijingzaiquanqiudedaohenduorenke，shiyingteerhetaijidiandezuijiagongyingshang。weilaisuizhezhongguoyewudezengjia，xiangxinwomenzaizhongguoyehuidedaogengduodeguoneikehuderenke。"