七赴進博之約ASML沈波:以光刻“鐵三角”助力中國半導體應對AI浪潮
發布時間:2025-11-12 來源:轉載 責任編輯:lily
【導讀】11月5日至10日(ri),第(di)八(ba)屆(jie)中(zhong)國(guo)國(guo)際(ji)進(jin)口(kou)博(bo)覽(lan)會(hui)在(zai)上(shang)海(hai)國(guo)家(jia)會(hui)展(zhan)中(zhong)心(xin)成(cheng)功(gong)舉(ju)辦(ban)。技(ji)術(shu)裝(zhuang)備(bei)展(zhan)區(qu)作(zuo)為(wei)全(quan)場(chang)焦(jiao)點(dian)之(zhi)一(yi),吸(xi)引(yin)眾(zhong)多(duo)專(zhuan)業(ye)觀(guan)眾(zhong)駐(zhu)足(zu)交(jiao)流(liu),現(xian)場(chang)氣(qi)氛(fen)熱(re)烈(lie)。連(lian)續(xu)七(qi)年(nian)參(can)展(zhan)的(de)全(quan)球(qiu)光(guang)刻(ke)技(ji)術(shu)領(ling)導(dao)者(zhe)ASML,此次以“積納米之微,成大千世界”為主題,在集成電路專區展示了其前沿的光刻解決方案。
ASML全球執行副總裁、中國區總裁沈波在接受采訪時強調:“進博會倡導的開放合作理念,與半導體產業全球化協作、共同進步的特質高度契合。我們希望通過這一平台,與各界夥伴深入交流,分享行業洞見,展示ASML在光刻領域的最新成果。”
AI時代的兩大挑戰:算力需求與能源消耗
隨著人工智能技術的迅猛發展,全球半導體行業正迎來新的變革契機。沈波指出,AI將成為引領下一波半導體產業大發展、並推動社會全麵數字化轉型的核心驅動力。根據麥肯錫預測,到2030年,AI將為全球GDP貢獻10萬億美元的價值。
然而,AI的快速發展也帶來了兩大挑戰。沈波解釋道,一是摩爾定律和AI時代對算力需求之間的“剪刀差”——半導體行業長期遵循的摩爾定律顯示晶體管數量每兩年左右翻一倍,而AI的算力需求幾乎是每兩年以15-16倍的速度增長,這與摩爾定律預示的線性增長路徑形成鮮明對比。
二是能源消耗問題。研究表明,若僅通過增加模型參數提升性能,且其他技術條件不變,為了在200小時內完成一次超大模型訓練,其所需的計算速度將導致功耗大幅度提升。
“鐵三角”全景光刻解決方案應對行業挑戰
麵對這些挑戰,延續摩爾定律仍是關鍵應對之策。沈波介紹,“通過2D微縮持續縮小晶體管尺寸、提升晶體管密度與能效,以及借助3D集成進行堆疊和封裝,突破平麵極限,是芯片行業在技術領域尋求創新突破的兩大核心路線。”
ASML通過“鐵三角”全景光刻解決方案——光刻機、計算光刻、量測與檢測的協同,幫助客戶以更低能耗和成本實現更高良率,提升芯片性能與能效。
在本次進博會現場,ASML以數字化方式展示了全景光刻解決方案下的多款產品和技術。沈波詳細介紹道:“光(guang)刻(ke)機(ji)幫(bang)助(zhu)客(ke)戶(hu)製(zhi)造(zao)芯(xin)片(pian),計(ji)算(suan)光(guang)刻(ke)創(chuang)建(jian)光(guang)刻(ke)工(gong)藝(yi)的(de)精(jing)確(que)仿(fang)真(zhen)模(mo)型(xing)以(yi)提(ti)高(gao)良(liang)率(lv)和(he)產(chan)能(neng),量(liang)測(ce)與(yu)檢(jian)測(ce)設(she)備(bei)用(yong)於(yu)曝(pu)光(guang)後(hou)晶(jing)圓(yuan)成(cheng)像(xiang)檢(jian)查(zha)和(he)反(fan)饋(kui),及(ji)時(shi)糾(jiu)錯(cuo)/調整光刻工藝實時提升良率。”
ASML展示的DUV光刻機具備多項創新技術。其中TWINSCAN XT:260是ASML的首款可服務於先進封裝領域的光刻機,該設備通過光學係統的創新具有大視場曝光,相較於現有機型可提升4倍生產效率。沈波補充說:“這款設備在今年第三季度已正式發運。”
另一款DUV光刻機TWINSCAN NXT:870B在升級的光學器件和最新一代磁懸浮平台的支持下,可實現每小時晶圓產量400片以上,並為鍵合後的套刻和階梯式工藝提供強大的校正能力。
值得一提的是,ASML的DUV光刻機創新性地引入了鑽石塗層,能夠有效減少設備磨損,延長使用壽命,降低更換需求與維護成本。
深耕中國市場三十餘載,團隊持續壯大
自1988年向中國交付首台步進式光刻機起,ASML在華征程已逾三十載。沈波表示,ASML參與並見證了中國半導體行業的發展曆程,在合法合規前提下始終為中國客戶提供堅實支持。
如今,中國已成為ASML最重要的市場之一。ASML在中國17個城市設有辦事處、還有15個倉儲物流中心、3個開發中心、1個培訓中心以及1個維修中心,形成了集開發、支持、服務與人才培養於一體的綜合體係。
ASML在中國的團隊也在持續壯大。沈波介紹:“目前ASML中國區員工人數已經突破2000人,相比去年的1800人實現了約10%的穩健增長。我們在中國的計算光刻和電子束量測開發團隊超過400人,今年新增的200名員工中客戶服務工程師占據很大比重。”
在業務發展的同時,ASML也積極踐行企業社會責任。沈波分享道:“團隊在全國各地開展ESG活動,包括慈善活動、科技類活動等,例如我們的西安團隊每年都會定期前往當地鄉鎮小學,為留守兒童組織活動,給予他們陪伴與關懷。”
行業前景樂觀,穩健增長可期
在采訪的最後,沈波分享了對ASML業績以及行業發展的看法:“根據公司最新第三季度財報,ASML預期2025年全年銷售額將實現15%的同比增長。當前,半導體行業整體仍處於調整階段,並正逐步進入上行周期,全年15%的幅度是一個比較穩健的增長。”
中長期來看,公司持續看好行業發展。沈波表示,ASML基本維持對2030年營業額達到440億至600億歐元的預期,“整體而言,我們對行業前景保持樂觀態度。”
隨著人工智能時代的全麵到來,半導體產業正站在新的曆史起點。ASML通過其全景光刻解決方案,正積極助力全球半導體行業應對算力與能效挑戰,推動技術創新與產業升級。
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